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    VHF蝕刻系統(tǒng)

    應用于半導體行業(yè):

    半導體加工設備-刻蝕設備-HF刻蝕設備

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    1

    產       地:

    全國

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    品牌:

    型號:

    所屬系列:半導體加工設備-刻蝕設備-HF刻蝕設備

    本系統(tǒng)主要應用于微機電系統(tǒng) (MEMS) 干法蝕刻工藝,比如大面積挖深槽(洞),懸臂梁等結構。
    本系統(tǒng)采用無水氟化氫蒸汽(VHF)結合無水乙醇蒸汽蝕刻能有效的防止上述現(xiàn)象的發(fā)生。由于采取了無水氟化氫氣體的蝕刻方法,使得蝕刻結構較小的部件和深腔部件變得非常容易。
    采用PLC和觸摸屏人機界面,精密控制溫度、流量、壓力等工藝參數(shù),加上特殊設計的腔體結構、勻氣機構和晶片旋轉結構,可以有效地控制反應過程,提高蝕刻均勻性,同時保持較高的選擇性。

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    提問:
     

    刻蝕精度多高?刻槽均勻誤差多大?

    sdmm  2017-08-11

    你好:
            關于刻蝕的精度根據(jù),刻蝕的時間,跟腔體壓力,工藝氣體的流量有關系的。
            關于均勻性與刻蝕速率有關系,具體參數(shù)請電聯(lián)。。

    2017-08-25

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