本系統(tǒng)主要應用于微機電系統(tǒng) (MEMS) 干法蝕刻工藝,比如大面積挖深槽(洞),懸臂梁等結構。
本系統(tǒng)采用無水氟化氫蒸汽(VHF)結合無水乙醇蒸汽蝕刻能有效的防止上述現(xiàn)象的發(fā)生。由于采取了無水氟化氫氣體的蝕刻方法,使得蝕刻結構較小的部件和深腔部件變得非常容易。
采用PLC和觸摸屏人機界面,精密控制溫度、流量、壓力等工藝參數(shù),加上特殊設計的腔體結構、勻氣機構和晶片旋轉結構,可以有效地控制反應過程,提高蝕刻均勻性,同時保持較高的選擇性。