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    包郵 關(guān)注:375

    華林科納新型高效廢氣處理系統(tǒng)

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體輔助設(shè)備-氣體類輔助設(shè)備-廢氣處理

    產(chǎn)品品牌

    南通華林科納

    庫       存:

    50

    產(chǎn)       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    客服電話:4001027270

    品牌:南通華林科納

    型號:

    所屬系列:半導(dǎo)體輔助設(shè)備-氣體類輔助設(shè)備-廢氣處理

     主要功能:本設(shè)備主要采用手動搬運(yùn)方式,通過對擴(kuò)散、外延等設(shè)備的石英管、碳化硅管腐蝕、漂洗等方式進(jìn)行處理,從而達(dá)到一個(gè)用戶要求的清洗效果。主體采用德國勞士領(lǐng) 瓷白PP板,骨架采用不銹鋼 外包PP 防腐板;

    1.1.1 設(shè)備名稱:半自動石英管清洗機(jī)

    1.1.2 設(shè)備型號:CSE-SC-N401

    1.1.3 整機(jī)尺寸(參考):4500mm*1500mm*2100mm;

    1.1.4 被清洗爐管尺寸(Max):

    也可清洗其它可放入清洗槽中的石英器皿等被清洗物

    1.1.5 設(shè)備形式:室內(nèi)放置型;

    1.1.6節(jié)拍:約1--12小時(shí)(節(jié)拍可調(diào)根據(jù)實(shí)際工藝時(shí)間而定)         

    1.1.7 操作形式:半自動

    1.2 設(shè)備描述

    l 此裝置是一個(gè)半自動的處理設(shè)備。

    PROFACE 8.0英寸大型觸摸屏顯示 / 檢測 / 操作

    l 清洗工作過程由三菱 / 歐姆龍PLC控制。

    1.3 設(shè)備特點(diǎn)

    l 腐蝕漂洗能力強(qiáng),性能穩(wěn)定,安全可靠;

    l 設(shè)備成本合理,自動化程度高,使用成本低;

    l 技術(shù)先進(jìn),結(jié)構(gòu)合理,適宜生產(chǎn)線上大批次操作;

    l 結(jié)合華林科納公司全體同仁之力,多年品質(zhì)保障,使其各部分遠(yuǎn)遠(yuǎn)領(lǐng)先同類產(chǎn)品;

    l 設(shè)備上層電器控制系統(tǒng)及抽風(fēng)系統(tǒng),中層工作區(qū),下層為管道安裝維修區(qū),主體結(jié)構(gòu)由清洗機(jī)主體、酸洗槽、水清洗槽、防漏盤、抽風(fēng)系統(tǒng)、工件滾動系統(tǒng)、氮?dú)夤呐菹到y(tǒng)、支撐及旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)、管路部分、電控部分。

    l 本設(shè)備裝有雙防漏盤結(jié)構(gòu),并有防漏檢測報(bào)警系統(tǒng),在整臺設(shè)備的底部裝有接液盤。

    l 設(shè)備配有在槽體下方配有傾斜式防漏層。

    1.4工藝流程:

    檢查水、電、氣正常→啟動電源→人工上料→注酸→槽體底部氮?dú)夤呐?rarr;石英管轉(zhuǎn)動(7轉(zhuǎn)/min)→進(jìn)入酸泡程序→自動排酸(到儲酸箱)→槽體底部自動注水(同時(shí)氣動碟閥關(guān)閉)→懸浮顆粒物經(jīng)過溢流壩流出→排水碟閥打開(重顆粒雜質(zhì)排出)→初級潔凈水經(jīng)過溢流壩溢出→清洗次數(shù)重復(fù)循環(huán)(人工控制)→下料。

     酸洗和水洗在同一槽內(nèi)完成

     1#,2#可通過循環(huán)泵循環(huán)使用

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