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    華林科納顯影機

    應用于半導體行業(yè):

    半導體清洗設備-其他

    產品品牌

    華林科納

    規(guī)格型號:

    2000mmWx1500mmDx2000mmH

    庫       存:

    50

    產       地:

    中國

    數       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
    交易保障 擔保交易 網銀支付

    品牌:華林科納

    型號:2000mmWx1500mmDx2000mmH

    所屬系列:半導體清洗設備-其他

     l PLC可程式控制器(歐姆龍)+Touch Screen 8"彩色人機界面操作。

    l 制程參數皆采用可設定、修改、記憶制程模式;

    l 操作模式可分為自動/手動/編輯/維修。

    l 配有獨立配電箱,電路區(qū)進行功能分塊,強電、弱電塊,以便于維護;

    l 具Password功能以避免操作人員誤改參數:

    Password-1.啟動及可進入自動模式內容。

    Password-2可進入編輯模式修改制程參數。

    Password-3可進入手動模式。

    5.安全保護

    l 設備采用耐腐蝕導線并通過氟套管進行保護,防腐防水;

    l 設有防漏電斷路保護裝置;

    l 電控部分正壓空體保護,防水防腐;

    l 設備有可靠的接地裝置及緊急關機和報警系統(tǒng);

    l EMO 裝置緊急按鈕開關;

    l 蜂鳴器聲鳴提示工作完成,三色報警燈及蜂鳴聲光故障報警;

    l 機臺底部設有防漏盤及漏液感知;

    l 液位異常感知/安全液位保護;

    加熱保護

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