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    磨削阻力小且均勻的雙面研磨拋光設(shè)備

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-晶圓減薄拋光設(shè)備-研磨機

    產(chǎn)品品牌

    方達

    規(guī)格型號:

    FD-965龍門式雙面研磨機/拋光機

    發(fā)貨期限:

    15天內(nèi)天

    庫       存:

    1

    產(chǎn)       地:

    中國-廣東省

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    減少 增加

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    品牌:方達

    型號:FD-965龍門式雙面研磨機/拋光機

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-晶圓減薄拋光設(shè)備-研磨機

            FD-965龍門式雙面研磨機/拋光機 

    主要用途:

    本設(shè)備主要用于藍寶石襯底、鎢鋼刀片、陶瓷刀片等硬脆材料的精密研磨。

    工作原理:

    A:本系列研磨機為超高精密研磨設(shè)備,上、下研磨盤做相反方向轉(zhuǎn)動,工作在載體內(nèi)既做公轉(zhuǎn)又自轉(zhuǎn)的游星運動。磨削阻力小,不損傷工件,而且兩面均勻磨削生產(chǎn)效率高。

    B:修盤機采用油壓懸浮導(dǎo)軌前后往復(fù)運動,配合金剛石修面刀對研磨盤進行精密修整,使研磨盤得到精密的平面度。 

    高精密研磨機特點:

     1.本系列研磨機的上、下研磨盤可進行自動修盤。

     2.采用四個電機同步運行[微軟用戶1] ,變速范圍更廣,運動精度更高,響應(yīng)速度更快,能適應(yīng)不同研磨材料及研磨工藝的要求,實現(xiàn)了軟啟動、軟停止,調(diào)速穩(wěn)定,沖擊小。

     3.修面機采用伺服馬達驅(qū)動,能確保油壓懸浮導(dǎo)軌滑動更加平穩(wěn),得到的平面修整效果更好。

     4.控制系統(tǒng)中采用DSP、web-link、彩色終端等先進技術(shù)、系統(tǒng)的響應(yīng)速度更快、更精確,并具有遠程監(jiān)控,遠程維護功能。

     5、采用先進的西門子產(chǎn)PLC程序控制器,控制整機的動作,自動化程度高,并由與之匹配的西門子Smart 700大屏幕觸摸屏作界面,顯示當前整機狀態(tài),實現(xiàn)人機對話,操作一目了然。

     6、采用變頻調(diào)速及全齒輪傳動,使整機工作時起動平穩(wěn)、運轉(zhuǎn)穩(wěn)定,尤其在低速運轉(zhuǎn)時,克服了上、下研磨盤的竄動、爬行現(xiàn)象。

     7、采用亞德克生產(chǎn)的氣動執(zhí)行元件與SMC生產(chǎn)的氣動控制元件配套,實現(xiàn)研磨盤分輕壓、中壓、重壓、精研等四個階段的壓力無級調(diào)節(jié),為磨削工件提供更出色的研磨效率及更廣泛的磨削工藝選擇。

     8、大齒圈可以升降,且升降位置可以調(diào)節(jié)。太陽輪的高度也可以通過定期增減墊片數(shù)量進行調(diào)節(jié)。

     9、本設(shè)備可設(shè)定和存儲三十套不同的工藝參數(shù)(壓力、速度、時間、圈數(shù))供使用者選用。

     10、配有主氣缸端鎖機構(gòu),可方便、安全鎖定上研磨盤

     [微軟用戶1]取消4電機同步運行
     

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