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    包郵 關(guān)注:497

    XY-精密氣浮移動(dòng)平臺(tái)

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體輔助設(shè)備-工作臺(tái)-隔振平臺(tái)

    庫(kù)       存:

    1

    產(chǎn)       地:

    中國(guó)-北京市

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    1.00
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    品牌:

    型號(hào):

    所屬系列:半導(dǎo)體輔助設(shè)備-工作臺(tái)-隔振平臺(tái)

           精密氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)具有高精度、無(wú)摩擦、低污染等特點(diǎn),在光刻技術(shù)、超精密加工、生物檢測(cè)技術(shù)、納米表面形貌測(cè)量等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用,是各種領(lǐng)域中精密加工和精密檢測(cè)設(shè)備中的重要部件。近年來(lái)微電子技術(shù)、信息技術(shù)及生物工程等新興科技領(lǐng)域的發(fā)展。精密氣浮平臺(tái)最終可達(dá)到較高的定位精度和同步精度。靜壓氣浮軸承的主動(dòng)控制技術(shù)及其在精密氣浮平臺(tái)中的應(yīng)用。采用主動(dòng)控制技術(shù)調(diào)節(jié)氣浮軸承的供氣壓力控制氣體薄膜的厚度。由此設(shè)計(jì)了一種靜壓氣體薄膜驅(qū)動(dòng)的微動(dòng)平臺(tái)。將主動(dòng)控制技術(shù)應(yīng)用于平面精密氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái),可以使工作臺(tái)在XY平面運(yùn)動(dòng)之外,具備Z方向的微行程精密運(yùn)動(dòng)能力。通過(guò)主動(dòng)控制可對(duì)工作臺(tái)Z方向的位置誤差進(jìn)行補(bǔ)償,同時(shí)也可以實(shí)現(xiàn)工作臺(tái)在Z方向的精密定位。

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    請(qǐng)問(wèn)XYZ的行程多大啊?Z軸能不能加旋轉(zhuǎn)軸?

    qwghh  2017-08-04

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