服務(wù)熱線
4001027270
加工片架、片盒規(guī)格:最大兼容156mm×156mm方片或8”圓片
單臺片盒數(shù)量:2盒、4盒、6盒、8盒
工作轉(zhuǎn)速:100~2400r/min(LXS-400) 100~900r/min(LXS-600;LXS-800)
DI水壓力:0.25~0.3MPa(2.5~3.0kgf/cm2) 耗量:12L/min(Max)
N2壓力:0.25~0.3MPa(2.5~3.0kgf/cm2) 耗量:200L/min(Max)
N2加熱溫度:100℃±5℃
外型尺寸:1490×1290×910(mm)
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