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關(guān)注:611
SUSS光刻機(jī)用曝光燈HBO 200W/DC 系列
產(chǎn)品品牌
SUSS
庫 存:
1
產(chǎn) 地:
全國
SUSS光刻機(jī)用曝光燈HBO 200W/DC 系列
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詳細(xì)介紹 |
SUSS MicroTecv美國蘇斯公司生產(chǎn)的半導(dǎo)體和太陽能行業(yè)用光刻機(jī),目前得到業(yè)界的廣泛認(rèn)同,該系列光刻機(jī)曝光系統(tǒng)的曝光燈,主要是由德國歐司朗公司生產(chǎn)的曝光燈進(jìn)行配套供應(yīng)。歐司朗曝光燈系列,具備良好的光通量,穩(wěn)定的光強(qiáng)度以及優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)受到業(yè)界的青睞。目前供蘇斯光刻機(jī)配套的相關(guān)參數(shù)如下:
HBO® short-arc mercury varour lamps for microlithography
Lamps for SÜSS Equipment
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Lamp type
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Max life[h]
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Equipment(適用機(jī)型)
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HBO 200W/DC
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1000
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MJB3,MJB4
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HBO 350W/S
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600
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MA4,MA6,MA8,MA150,MJB3,MJB21,UV300/500
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HBO 1000W/D
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1000
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MA150,MA200,MA4,MA6,MA8
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HBO 5000W/S
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1000
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MA300
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以下是歐司朗曝光燈的技術(shù)參數(shù):
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