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當(dāng)前位置: 首頁(yè) » 耗材館 » 半導(dǎo)體加工設(shè)備耗材 » 光刻耗材 » 汞燈 »SUSS 蘇斯光刻機(jī)用曝光燈HBO 200W/DC
    包郵 關(guān)注:496

    SUSS 蘇斯光刻機(jī)用曝光燈HBO 200W/DC

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備耗材-光刻耗材-汞燈

    庫(kù)       存:

    1

    產(chǎn)       地:

    全國(guó)

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:

    型號(hào):

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備耗材-光刻耗材-汞燈

     
    SUSS光刻機(jī)用曝光燈HBO 200W/DC 系列
    SUSS光刻機(jī)曝光燈HBO 200W,HBO350W,HBO1000W,HBO5000W.doc
    詳細(xì)介紹

    SUSS MicroTecv美國(guó)蘇斯公司生產(chǎn)的半導(dǎo)體和太陽(yáng)能行業(yè)用光刻機(jī),目前得到業(yè)界的廣泛認(rèn)同,該系列光刻機(jī)曝光系統(tǒng)的曝光燈,主要是由德國(guó)歐司朗公司生產(chǎn)的曝光燈進(jìn)行配套供應(yīng)。歐司朗曝光燈系列,具備良好的光通量,穩(wěn)定的光強(qiáng)度以及優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)受到業(yè)界的青睞。目前供蘇斯光刻機(jī)配套的相關(guān)參數(shù)如下:

     

      HBO® short-arc mercury varour lamps for microlithography

     

    Lamps for SÜSS  Equipment

    Lamp type

    Max life[h]

    Equipment(適用機(jī)型)

    HBO 200W/DC

    1000

    MJB3,MJB4

    HBO 350W/S

    600

    MA4,MA6,MA8,MA150,MJB3,MJB21,UV300/500

    HBO 1000W/D

    1000

    MA150,MA200,MA4,MA6,MA8

    HBO 5000W/S

    1000

    MA300

     

     

    以下是歐司朗曝光燈的技術(shù)參數(shù):

     

     

     

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