服務(wù)熱線
4001027270
MORSENSEMI 2英寸InP單晶片主要參數(shù)指標(biāo)
摻雜 |
導(dǎo)電類型 |
載流子濃度(cm-3) |
遷移率(cm2V-1s-1) |
電阻(Ω.cm) |
位錯(cm-2) |
|||
非摻 |
N-型 |
≤3×1016 |
(3.5-4)×103 |
≤1000 |
||||
摻S |
N-型 |
(0.8-6)×1018 |
(1.5-3.5)×103 |
≤5000/≤500 |
||||
摻Zn |
P-型 |
(0.6-6)×1018 |
50-70 |
≤5000 |
||||
摻Fe |
SI |
>2000 |
>1×107 |
≤5000 |
||||
加工技術(shù)參數(shù) |
||||||||
規(guī)格 |
2英寸 |
3英寸 |
4英寸 |
|||||
直徑(mm) |
50.8±0.5 |
76.2±0.5 |
100.0±0.5 |
|||||
厚度(μm) |
350±25 |
600±25 |
625±25 |
|||||
晶向 |
(100)/(111)±0.5° |
|||||||
主定位邊長(mm) |
16±2 |
22±2 |
32.5±2 |
|||||
副定位邊長(mm) |
8±1 |
11±1 |
18±1 |
|||||
平整度TTV(μm) |
<10 |
<10 |
<15 |
|||||
彎曲度Bow(μm) |
<10 |
<10 |
<15 |
|||||
翹曲度Warp(μm) |
<15 |
<15 |
<15 |
|||||
其他產(chǎn)品參數(shù)可按照客戶要求定制 |
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