鳳鳴亮提供晶元硅片非接觸激光在線厚度檢測服務

發(fā)表于：2022-06-02  作者：szgxcljs  關(guān)注度：268

 鳳鳴亮提供晶元硅片非接觸激光在線厚度檢測服務

一、導論

自60年代激光產(chǎn)生以后，其高方向性和高亮度的優(yōu)越性就一直吸引著人們不斷探索它在各方面的應用，其中，工業(yè)生產(chǎn)中的非接觸、在線測量是非常重要的應用領(lǐng)域，它可以完成許多用接觸式測量手段無法完成的檢測任務。普通的光學測量在大地測繪、建筑工程方面有悠久的應用歷史，其中距離測量就是利用幾何學的三角測量。在80年代末90年代初，人們開始將激光與三角測量的原理相結(jié)合，形成了激光三角測距儀。與建筑工程中使用的長距離激光相位法測距儀相比，激光三角測距儀的優(yōu)點是精度高，不需要使用反射鏡作為對準目標，即激光直接照射在被測物體表面，且不受被測物的材料、質(zhì)地、型狀、反射率的限制，從白色到黑色，從金屬到陶瓷、塑料都可以測量，沒有放射性物質(zhì)，操作安全，因此，在制造業(yè)中，絕大多數(shù)場合的短距離精密測距，以及由測距轉(zhuǎn)化的測厚、測位置等需求都是可以滿足的！
二、應用領(lǐng)域：
激光三角精密非接觸位移長度測量儀器既可廣泛應用于幾何量（位置、位移、厚度、半徑、形狀等）的工業(yè)測量——特別是非接觸在線測量，也可以擴展應用于許多物理量（如溫度、重量、壓力、容積等等）的測量，只要設(shè)法將這些物理量通過適當?shù)姆椒ㄞD(zhuǎn)化為微位移量即可。

LTG-680激光測厚儀是一種采用激光三角測距原理進行薄膜、半導體材料測厚，薄板等厚度非接觸在線測量的精密儀器，可替代各種射線測厚儀。由于采用了雙鏡頭光路共面陣CCD相機技術(shù)，不但消除了傳統(tǒng)雙激光三角位移傳感器測厚儀所存在的上下測頭數(shù)據(jù)不同步誤差，提高了生產(chǎn)線上薄膜、薄板存在抖動時的厚度測量精度；本產(chǎn)品特殊的折疊光路實現(xiàn)了寬幅掃描，且可方便地根據(jù)用戶的需求定制任意寬度幅面薄膜測厚的專用機型。

中實際使用的板厚測量技術(shù)有卡尺、超聲波法測厚儀、電渦流法測厚儀、放射線法測厚儀，其中卡尺、超聲波法測厚儀是操作人員手工接觸板材進行測量，故只能等軋制完成后停在傳輸線上才能進行，因此是非在線測量；電渦流法測厚儀由于受板材表面干凈程度和表面化學雜質(zhì)影響很大，因此誤差很大；放射線法測厚儀在過去曾應用較廣，但因存在射線對操作工人的健康危害，導致白血病、癌癥等職業(yè)疾病，因此，這些企業(yè)多已將放射線法測厚儀拆下、不用了。 

LTG-680型激光測厚儀由于采用了雙鏡頭光路共面陣CCD相機技術(shù)，不但消除了傳統(tǒng)雙激光三角位移傳感器測厚儀所存在的上下測頭數(shù)據(jù)不同步誤差，提高了生產(chǎn)線上薄膜、薄板存在抖動時的厚度測量精度；本產(chǎn)品特殊的折疊光路實現(xiàn)了寬幅掃描，且可方便地根據(jù)用戶的需求定制任意寬度幅面薄膜測厚的專用機型。本產(chǎn)品可廣泛應用于各種電池

三、主要功能：
1、厚度顯示;
2、自動反饋控制;激光膜厚儀具有RS-232標配。
3、電腦屏幕顯示,操作方便快捷; 
4、密碼保護,系統(tǒng)自診斷功能;

四、主要效益：
1、為操作工人開啟了信息窗,時刻知道當前產(chǎn)品的質(zhì)量情況;
2、很好地節(jié)約原材料;
3、產(chǎn)品質(zhì)量, 減少廢品率;
4、縮短換產(chǎn)品開車時間,提生產(chǎn)線的生產(chǎn)力;
5、降低單位產(chǎn)量能耗;
6、提產(chǎn)品的市場競爭力;
7、有效地進行生產(chǎn)管理和考核;

五、技術(shù)參數(shù)：
1、測量成分：只要被測物具備光學慢反射的光學特性就可以測量，換言之：只要人眼睛可以看見就可以測量
2、光學測量距離（激光光源離被測物距）：90mm
3、取樣面積：0。04mm（直徑）
4、光學主機（探頭重量）：16kg
5、外殼（標準型）：合金鋁
6、電源：220VAC（50/60Hz）
7、工作溫度：0-35℃
六、輸出： 

測量范圍：0 mm≤厚≤36mm；0 mm≤寬≤680mm
備選輸出：4-20mA，以太網(wǎng)，RS-232,RS-422/485，數(shù)字輸入（1組），數(shù)字輸出（1組）
備選通訊協(xié)議：Profibus,以太網(wǎng)，Modbu