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ELEAD TECH(屹立芯創(chuàng))的全自動(dòng)/半自動(dòng)/手動(dòng)型晶圓級(jí)真空貼壓膜系統(tǒng),區(qū)別于傳統(tǒng)使用滾輪壓式的貼膜機(jī),采用真空貼膜+壓膜后切膜的技術(shù)。干膜先預(yù)鋪設(shè)(不與基材接觸),腔體抽真空后進(jìn)行貼壓膜,配合以震蕩式軟性氣囊的多段熱壓作用,尤其適合晶圓表面具有凹凸起伏結(jié)構(gòu)圖案的貼壓膜制程。如:FlipChip制程的NCF壓膜、Fan-out制程的Moldsheet壓膜以及3D-IC制程所需的TSV填孔等。可實(shí)現(xiàn)近乎完美無氣泡且高深寬比(1:20)填充的貼壓膜;可兼容匹配8”及12”晶圓封裝工藝。內(nèi)部搭配自動(dòng)切割系統(tǒng),壓膜后設(shè)備切割系統(tǒng)進(jìn)行裁膜,匹配多種干膜材料,還可擴(kuò)充壓膜腔體進(jìn)行二次表面整平壓合,無須另外加裝整平系統(tǒng),節(jié)省成本。另外,手動(dòng)型號(hào)還可鋪設(shè)離型膜,可避免壓膜中所造成的殘膠影響。
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