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    半自動(dòng)壓膜機(jī)-晶圓壓膜機(jī),晶圓除氣泡,真空壓膜機(jī)|屹立芯創(chuàng)

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體封裝設(shè)備-其他設(shè)備類-烘烤設(shè)備

    庫       存:

    10

    產(chǎn)       地:

    中國-江蘇省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付
    真空壓膜通常是指在設(shè)備的真空模塊內(nèi)將干膜材料與基材進(jìn)行貼合,完成加熱壓膜動(dòng)作,常見的真空壓膜機(jī)通常都是采用單段加壓覆膜以及預(yù)貼膜的方式,但該方式對(duì)于表面具有許多細(xì)微凸凹結(jié)構(gòu)的晶圓(如高深寬比TSV孔洞、高密度CuPillarBump等)無法滿足其高深寬比結(jié)構(gòu)的干膜填覆的晶圓級(jí)封裝需求;另外,先裁膜預(yù)貼合再熱壓的工藝,往往會(huì)導(dǎo)致無法完全排除的氣泡空洞現(xiàn)象。

     

    ELEAD TECH(屹立芯創(chuàng))的全自動(dòng)/半自動(dòng)/手動(dòng)型晶圓級(jí)真空貼壓膜系統(tǒng),區(qū)別于傳統(tǒng)使用滾輪壓式的貼膜機(jī),采用真空貼膜+壓膜后切膜的技術(shù)。干膜先預(yù)鋪設(shè)(不與基材接觸),腔體抽真空后進(jìn)行貼壓膜,配合以震蕩式軟性氣囊的多段熱壓作用,尤其適合晶圓表面具有凹凸起伏結(jié)構(gòu)圖案的貼壓膜制程。如:FlipChip制程的NCF壓膜、Fan-out制程的Moldsheet壓膜以及3D-IC制程所需的TSV填孔等。可實(shí)現(xiàn)近乎完美無氣泡且高深寬比(1:20)填充的貼壓膜;可兼容匹配8”及12”晶圓封裝工藝。內(nèi)部搭配自動(dòng)切割系統(tǒng),壓膜后設(shè)備切割系統(tǒng)進(jìn)行裁膜,匹配多種干膜材料,還可擴(kuò)充壓膜腔體進(jìn)行二次表面整平壓合,無須另外加裝整平系統(tǒng),節(jié)省成本。另外,手動(dòng)型號(hào)還可鋪設(shè)離型膜,可避免壓膜中所造成的殘膠影響。

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