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TM6探針臺 TM/6 inch Probe Station
產品工作原理：
手動探針臺是廣泛應用與半導體行業(yè)的綜合經(jīng)濟型測試儀器，主要用于半導體芯片的電參數(shù)檢測。
手動探針臺是通過兩根探針以及吸片盤夠成的回路以及相應大型電參數(shù)測試儀對芯片中的集成電路進行檢測的。
產品應用范圍：
手動探針臺主要用于對生產及科研中的集成電路、三極管、二極管、可控硅及敏感元件管芯的電壓、電流、電阻等參數(shù)進行手動測試。
產品特點：
適用6英寸各種半導體器件的高精度測試
同軸驅動CHUCK
可以升級做射頻測試
20X~2000X 光學顯微放大
無后座力移動
可選擇顯微鏡傾仰裝置或者氣動升降裝置
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CHUCK（卡盤）：
尺寸：6英寸，圓形（方形可選）
材質：不銹鋼（可升級鍍金）
旋轉角度：0-360°帶角度鎖定，精度0.1°
X-Y移動行程：6" x6"，移動精度：5um（可升級為1um精度）
Z軸升降行程：5mm，卡盤快速升降，方便更換樣品，不會碰觸到其他已調試好器件
顯微鏡控制：
顯微鏡放大倍率：20X~2000X
顯微鏡X-Y軸行程：2" x2"
在探針臺本體的功能設計上增加了顯微鏡的氣動升降或者顯微鏡傾仰裝置，使在測試過程中更換物鏡和樣品更為方便，避免了會有碰傷樣品和鏡頭的問題
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