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精密非接觸式測(cè)厚儀是一款高性能高精密的測(cè)量?jī)x器，可以不接觸樣品表面進(jìn)行厚度測(cè)量。這種方式可以避免接觸測(cè)量引起的表面損傷，特別適用于軟脆材料及對(duì)樣品表面質(zhì)量高要求的測(cè)量。該儀器能非常理想的用于半導(dǎo)體、光學(xué)及電光材料處理等的測(cè)量應(yīng)用。

1. 原理：

測(cè)厚儀配置的測(cè)量探針將壓縮氮?dú)獯怪毕蛳麓迪虮粶y(cè)量的樣品表面，在樣品表面上形成穩(wěn)定氣膜，可以不接觸樣品表面進(jìn)行厚度測(cè)量，并通過數(shù)字顯示系統(tǒng)顯示出所測(cè)得樣品的厚度數(shù)值。

2. 主要特點(diǎn):

測(cè)量任何非多孔材料消除對(duì)易接觸表面的污染測(cè)量圓柱形或球形響應(yīng)快速、精度高、不受被測(cè)目標(biāo)材質(zhì)影響超精加工表面無光澤痕跡測(cè)量到0.001mm 特別適用于半導(dǎo)體材料的測(cè)量。如：磷化銦、碲鋅鎘、砷化鎵、藍(lán)寶石、硅片等，其他材料：陶瓷片、薄膜、高度拋光表面樣件等

3.應(yīng)用:

廣泛地應(yīng)用在電鍍、防腐、航天航空、化工、汽車、造船、輕工、商檢等檢測(cè)領(lǐng)域。

4. 注意事項(xiàng)：

在使用測(cè)厚儀時(shí)，需要注意一下幾點(diǎn)：

①　在進(jìn)行測(cè)試的時(shí)候要注意標(biāo)準(zhǔn)片集體的金屬磁性和表面粗糙度應(yīng)當(dāng)與試件相似；

②　在測(cè)量時(shí)，需將測(cè)頭與試樣表面保持垂直；

③　在進(jìn)行測(cè)試時(shí)，需注意基體樣品的臨界厚度，如大于厚度測(cè)量，就不會(huì)受基體樣品厚度影響；

④　在測(cè)量時(shí)，需注意樣品曲率對(duì)測(cè)量的影響，因此在彎曲的樣品表面測(cè)量時(shí)不可靠；

⑤　測(cè)量是需保持壓力的恒定，否則會(huì)影響測(cè)量的讀數(shù)；

非接觸式測(cè)厚儀

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