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    PVA TePla 在線等離子體清洗機

    應用于半導體行業(yè):

    真空等離子清洗機

    產(chǎn)品品牌

    PVA TePla

    庫       存:

    1000

    產(chǎn)       地:

    德國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:PVA TePla

    型號:

    所屬系列:真空等離子清洗機

     PVA TePla在線等離子體處理設備/等離子體清洗/等離子體涂層


    型號:
    IoN-ILHC, GIGA 80(PLUS) 

    技術指標:

    腔體:
    鋁/不銹鋼

    腔體結構:
    單腔體,三腔體結構

    等離子體發(fā)生器:
    射頻RF13.56MHz:0-600W,0-1000W;
    微波MW2.45GHz:0-1000W

    工藝氣體:
    標配2路,可擴展多支持6路工藝氣體,可選單體管路。

    基片夾具:
    定制化


    選配:
    高精度真空規(guī)
    壓力控制
    燈柱
    掃碼槍
    液體循環(huán)冷卻機
    單體工藝工具及氣體加熱管線
    額外氣體、單體進氣閥

    安全認證標準
    CE certified
    2006/95/EC, Low Voltage Directive
    Standard IEC EN 61010
    2004/108/EC Electromagnetic Compatibility
    Standard IEC EN 61326
    CISPR 55011

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