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    三坐標測量儀

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體測試設備-其他測試設備類

    產(chǎn)品品牌

    思瑞

    規(guī)格型號：

    1050*1535*2247

    發(fā)貨期限：

    1-2周天

    運費說明：

    包郵

    庫       存：

    10

    產(chǎn)       地：

    中國-廣東省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    ￥100000.00
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    品牌：思瑞

    型號：1050*1535*2247

    所屬系列：半導體測試設備-其他測試設備類

       • 先進的全鋁技術，橫梁與Z軸采用表面硬質(zhì)陽極化航空鋁合金，溫度一致性更佳；

      并降低了運動部件的重量和測量機在高速運行時的慣性，保證高速高精度；

    • 三軸導軌均采用高精度自潔式空氣軸承，運動更平穩(wěn)，導軌不易磨損

    • 三軸均采用高精度歐洲進口光柵尺，系統(tǒng)分辨率可達0.078um；

      同時采用一端固定，一端自由伸縮的方式安裝，減少了光柵尺的變形，保證在溫度變化時的線性伸縮

    • X向采用精密60°三角梁技術，相比矩形橫梁，重心更低，質(zhì)量剛性比更佳，運動更加可靠

    • Y軸采用整體燕尾式導軌，在降低機器重量的同時，有效消除了運動扭擺，保證了測量精度和穩(wěn)定性

    • Z向采取氣動平衡技術，采用柔性懸掛系統(tǒng)，避免了軸向運動和傳動系統(tǒng)之間的干涉問題，

      提高了測量機的精度和長期穩(wěn)定性

    • 各運動軸均采用直流伺服驅(qū)動+增強型同步帶，確保運動的平穩(wěn)和準確定位

    • 采用?？怂箍禐镃roma專業(yè)打造的IDC-Ⅰ控制系統(tǒng)，21項誤差空間修正技術和自動調(diào)諧功能，保證了機器的動態(tài)性能和測量精度

    • 軟件為PC-DMIS BASIC (PC-DMIS PREMIUM)，功能強大，易學

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