Filmetrics是厚度測(cè)量系統(tǒng)的制造商。Filmetrics的厚度和回縮指數(shù)可以在不到一秒的時(shí)間內(nèi)測(cè)量。像Filmetrics的所有儀器一樣，例如F20型號(hào)連接到用戶Windows計(jì)算機(jī)的USB端口并在幾分鐘內(nèi)設(shè)置。

只需一次點(diǎn)擊，我們就可以通過分析薄膜如何反射光來測(cè)量薄膜的厚度。通過測(cè)量人眼不可見的光，可以測(cè)量薄至1nm和厚至13mm的薄膜。而且，由于沒有移動(dòng)部件，結(jié)果可以在幾秒鐘內(nèi)獲得：薄膜厚度，顏色，折射率，甚至粗糙度

薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)

F20系列

測(cè)量膜：平面，半透明，吸光膜。
例如：SiO 2 SiNX DLC，光刻膠，多晶硅，

                            非晶硅，硅晶片
基板：平坦，反射

如果要獲得光學(xué)指數(shù)，基板應(yīng)該是平坦的和反射的。如果襯底是透明的，則應(yīng)該進(jìn)行反射處理。

基板：Si，Al，GaAs，鋼，聚合物薄膜，

                          聚碳酸酯

最強(qiáng)大的工具可用于監(jiān)測(cè)薄膜沉積。

用F30光譜反射系統(tǒng)實(shí)時(shí)測(cè)量沉積速率，薄膜厚度，光學(xué)常數(shù)（n和k）以及半導(dǎo)體和介質(zhì)層的均勻性。

F40：顯微鏡薄膜厚度
測(cè)量系統(tǒng)

F40產(chǎn)品系列適用于需要小至1微米的光點(diǎn)尺寸的應(yīng)用。對(duì)于大多數(shù)顯微鏡，F40只需連接到攝像機(jī)安裝的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)Cmount適配器。

幾乎任何樣品形狀的厚度和指數(shù)的全自動(dòng)映射。手動(dòng)加載和機(jī)器人加載系統(tǒng)是可用的。

Filmetrics F60-t系列可以像我們的F50產(chǎn)品一樣映射薄膜厚度和索引，但是它還包含許多專門用于生產(chǎn)環(huán)境的功能。其中包括自動(dòng)缺口查找，自動(dòng)機(jī)載基線測(cè)量，帶運(yùn)動(dòng)互鎖的封閉式測(cè)量平臺(tái)，預(yù)裝軟件的工業(yè)計(jì)算機(jī)以及升級(jí)到完全自動(dòng)化晶圓處理的選項(xiàng)。

不同的F60-t儀器主要根據(jù)厚度和波長范圍進(jìn)行區(qū)分。通常需要較短波長（例如F60-t-UV）來測(cè)量較薄的膜，而較長的波長允許測(cè)量更厚，更粗糙和更不透明的膜。

F3-XXT專門設(shè)計(jì)用于測(cè)量非常厚的層，尤其是粗糙的表面，例如在IC故障分析的硅背面去除中經(jīng)常遇到的表面。使用UPG-RT-to-Thickness軟件模塊，可以在幾分之一秒內(nèi)測(cè)量5μm至1000μm厚的硅。視頻成像可以與SampleCam-XXT一起添加。

XY8自動(dòng)階段可以添加自動(dòng)XY映射功能。自動(dòng)對(duì)焦選項(xiàng)也可用。

為了測(cè)量更薄的層（小于0.1μm），可以添加可見波長光譜儀。

與我們所有的厚度測(cè)量儀器一樣，F3連接到Windows™計(jì)算機(jī)的USB端口，并在幾分鐘內(nèi)完成設(shè)置。