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4001027270
適用:惰性氣體N2、Ar、He。獨家專用純化技術(shù)脫除原料氣中的O2、CO、H2、CO2、H2O、CH4、碳氫化合物至PPb級。
※HPC終端OM系列純化器適用于原料氣指標波動較大,雜質(zhì)兩級脫除,全面保證用戶的材料氣品質(zhì)與純化器的使用壽命。
產(chǎn)品特點 :
◆ 抗原料氣波動能力強。多級純化工序,
◆脫除雜質(zhì)深度高
◆不釋放碳氫化合物 相比國內(nèi)現(xiàn)有的純化工藝,HPC –OM型純化技術(shù)不釋放碳氫化合物,常溫工作,節(jié)能環(huán)保。非消耗型純化材料,降低成本,純化深度高,使用壽命長。
◆性價比高 HPC-M系列所用純化材料為鎳觸媒催化劑,非消耗材料,可再生循環(huán)使用,成本低。初始調(diào)試后直接使用。
應(yīng)用領(lǐng)域:
光刻
IC(大規(guī)模集成電路)
SOI(硅半導體加工)
LED(半導體照明)
PV(光伏太陽能)
化合物半導體
零點氣純化
氣體凈化、
高純度焊接
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