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    氮氣深冷式分離式發(fā)生裝置 Cryogenic Air Separation Unit

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體輔助設(shè)備-氣體類輔助設(shè)備-其他

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    中國-上海市

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    氮氣深冷式分離式發(fā)生裝置 Cryogenic Air Separation Unit 
     
    ■發(fā)生氣體:氮氣(N2)
     
    ■發(fā)生方式:深冷分離式
     
    ■發(fā)生能力:200Nm3/hr~4500Nm3/hr
     
    ■氣體純度:~5N

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