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    1pm高分辨率光干涉CNC顯微鏡BW-M7000

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體測試設備-顯微鏡分類

    產(chǎn)品品牌

    尼康

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國-北京市

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：尼康

    型號：

    所屬系列：半導體測試設備-顯微鏡分類

     

    尼康旗下的NIKON INSTECH公司（總部：東京）將推出高度分辨率達到1pm的光干涉顯微鏡系統(tǒng)“BW-M7000”（圖1）。該系統(tǒng)可高速高精度測定高度范圍從亞納米級到毫米級的表面性狀（材料表面圖案及粗糙度、表面上的微小落差等）。

     

    表面性狀測定采用尼康自主開發(fā)的方式——“FVWLI（Focus Variation with White Light Interferometry）法”。該方法可使對象材料的表面生成干涉紋，高精度決定各像素的焦點位置。通過使用這種方式，可在2.5倍（視野4.4×4.4mm）至100倍（視野111.0×110.0μm）的所有倍率下實現(xiàn)三維算數(shù)平均高度（Sa）為0.1nm級別的表面性狀評估。能夠以單一模式測定超平滑表面到粗糙表面，無需更換光學濾光片等部件。另外，在測定膜厚時使用光譜干涉法。能以不到0.1秒的時間測定厚度為1nm～40μm的透明薄膜的厚度。

     

    可通過程序控制手段實現(xiàn)全自動測定，能夠自動實施對焦、調(diào)整樣品的傾斜、判斷是否合格等操作。可自動測定多個視野，除了材料研發(fā)一線之外，還可輕松用于品質(zhì)管理及品質(zhì)保證現(xiàn)場。

     

    該顯微鏡配備最大行程為300×300mm的電動XY軸載物臺，以及最大行程為200mm的電動Z軸變焦載物臺?？蓽y定半導體、LED、薄膜材料、高分子材料、精密機械加工部件等多種樣品（圖2、圖3）。在測定鉆頭尖端的表面形狀時，可用夾具保持其直立固定狀態(tài)。

     

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    提問:
     
    問

    請問你這臺能不能接電腦?。渴秋@示屏的還是目鏡的？

    balls  2017-07-18

    應用于半導體行業(yè)的相關同類產(chǎn)品：

    服務熱線

    4001027270

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