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▲適用于與Inconel® 或 Inconel/ 不銹鋼相容的氣體
▲絕對壓力范圍：0~10 Torr 至0~1000Torr，0~10 mbar/hpa 至0~1000mbar/hpa，0~2 psia 至0~20psia，0~2 kpa 至0~100kpa
介紹
Setra Model 760 電容壓力計(jì)是為精確的、可重復(fù)的真空測量而設(shè)計(jì)的壓力傳感器。滿量程范圍從10Torr 到1000Torr。測量單位可以是Torr，mbar/hpa，kpa 或psia。Model 760 的工作電壓是15VDC，輸出0~10VDC 或0~5VDC，輸出與壓力成線性關(guān)系，而且與氣體成分無關(guān)。電氣連接件可以是工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)15 針D 型插座或6 位接線端子板。采用金屬外殼、巨涌和ESD 抑制元件以及輸入輸出的RFI 過濾等技術(shù)，Model 760 具有卓越的EMI/RFI 性能。Model 760 有一個完整的滑面，很容易提供有精確的零點(diǎn)調(diào)節(jié)和量程調(diào)節(jié)的多匝電位計(jì)。Inconel® 材質(zhì)適用于全部濕原料所以可測量腐蝕性氣體，另外可提供不同類型的壓力和真空接頭。Model 760 中高精度的壓力傳感元件VactronSensor，是在Setra 專利技術(shù)可變電容傳感技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展來的。在敏感元件中央有一個饋入裝置組件支持一個鄰近膜片后表面的圓電極。電極和膜片在一個低壓接近真空的空間內(nèi)組成了一個可變電容。這一電容的變化被Setra 獨(dú)特的集成電路檢測并被轉(zhuǎn)換成高精度的線性直流信號，該集成電路是根據(jù)西特專利技術(shù)負(fù)荷平衡原理設(shè)計(jì)的。Model 760 采用革新的傳感設(shè)計(jì)獲得了卓越的零點(diǎn)穩(wěn)定性和大氣壓非敏感性。Model 760 傳感器包含了不易脆的或合成的部件，形成了與陶瓷式結(jié)構(gòu)相似的電容式壓力計(jì)。
注：Setra 堅(jiān)持嚴(yán)格的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)ANSI-Z540-1。此產(chǎn)品的標(biāo)定源于NIST。

應(yīng)用
● 半導(dǎo)體過程工具和裝置
● 實(shí)驗(yàn)室和研究開發(fā)
● 實(shí)驗(yàn)和測量
● 度量
● 分析化學(xué)系統(tǒng)
特點(diǎn)
■ 卓越的熱穩(wěn)定性
■ 出眾的EMI/RFI 性能
■ 低價位
■ 小巧緊湊的結(jié)構(gòu)
■ 耐腐蝕的Inconel® 濕部件
■ 多種壓力連接和電氣連接方式
■ 符合CE 標(biāo)準(zhǔn)

760 高精度真空計(jì)

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