網(wǎng)站首頁

中|EN

當(dāng)前位置: 首頁 » 設(shè)備館 » 半導(dǎo)體器件 » 儀器儀表 »射頻電源、射頻自動(dòng)匹配器
    •
    包郵 關(guān)注:411

    射頻電源、射頻自動(dòng)匹配器

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體器件-儀器儀表

    產(chǎn)品品牌

    K-mate

    規(guī)格型號(hào)：

    VERG-600\VENA-600

    發(fā)貨期限：

    5個(gè)工作日天

    庫       存：

    20

    產(chǎn)       地：

    中國-廣東省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：K-mate

    型號(hào)：VERG-600\VENA-600

    所屬系列：半導(dǎo)體器件-儀器儀表

    VERG\VENA系列射頻電源及自動(dòng)匹配器用于真空鍍膜、等離子刻蝕、等離子清洗、物理氣象沉積，化學(xué)氣象沉積，磁控濺射，以及太陽能制造設(shè)備PECVD等設(shè)備當(dāng)中，主要功能是實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)匹配，解決了現(xiàn)在國內(nèi)真空鍍膜設(shè)備中的一個(gè)技術(shù)空缺；具有自動(dòng)，快速，可靠，高效，準(zhǔn)確，節(jié)省人力和時(shí)間等特點(diǎn)?？蛇x的射頻系統(tǒng)檢測模塊可實(shí)時(shí)檢測出系統(tǒng)的正反功率、駐波比、射頻信號(hào)峰值電壓、電流、直流偏置電壓等，從而使您能夠發(fā)現(xiàn)并顯著降低制程變化性。

    優(yōu)勢

    ●性能安全可靠，長時(shí)間工作穩(wěn)定
    ●實(shí)時(shí)反射功率測量與控制
    ●優(yōu)化設(shè)計(jì)、安裝、使用與維修十分簡便
    ●傳輸效率高，運(yùn)行噪音小
    ●屏蔽效果好
    ●可外接匹配控制盒，與其他射頻功率發(fā)生器配合使用

    特點(diǎn)

    ●加強(qiáng)了鍍膜與刻蝕工藝的控制
    ●優(yōu)化的匹配算法加速匹配時(shí)間
    ●最大限度地減少駐波比與反射功率
    ●嚴(yán)格的可靠性測試

    咨詢

    購買之前，如有問題，請向我們咨詢

    提問:
     

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)同類產(chǎn)品：

    服務(wù)熱線

    4001027270

    功能和特性

    價(jià)格和優(yōu)惠

    微信公眾號(hào)