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    Prep-2型 等離子清洗機(jī)

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    真空等離子清洗機(jī)

    產(chǎn)品品牌

    Diener

    運(yùn)費(fèi)說明：

    包郵

    庫       存：

    1

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

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    品牌：Diener

    型號：

    所屬系列：真空等離子清洗機(jī)


    Prep-2型 等離子清洗機(jī)；
    * 真空艙體(等離子反應(yīng)艙): Φ100mm × L270 mm 水平 (2 升)
    * 艙體容量:約2升
    * 不銹鋼艙體  
    * 射頻發(fā)生器頻率 : 40KHZ,13.56MHZ, 2.45GHZ 可選
    * 高效針孔電極 
    * 銅氣體管、氣體流量計(jì)、針閥
    * 使用氣體流量計(jì)和針閥控制氣體
    * 自動計(jì)時器控制等離子處理過程 
    * 控制系統(tǒng):半/全自動控制 ,電腦控制,液晶觸摸屏控制
    * 功率連續(xù)可調(diào) 0-100W
    * 自動阻抗匹配
    * 自由設(shè)置參數(shù)：處理時間、功率、氣體
    * 安全保護(hù)功能：真空觸發(fā)、艙門鎖
    * 電磁閥保護(hù)，回流油霧不能進(jìn)入艙體
    * 外形尺寸：W345 mm×H220 mm× D420 mm
    * 電源：AC 220V/50Hz 
    * 真空泵：萊寶Leybold Type S1.5(1.5m3/h)
    選裝件 ：* 13.56 MHz 射頻發(fā)生器   * 2.45 GHz 射頻發(fā)生器  * 硅酸鹽艙體(外置環(huán)形電極)或石英艙體

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