etra-30-LF型 等離子清洗/刻蝕機(jī)---全自動(dòng)控制型,適合清潔,蝕刻,活化
30公升小型等離子機(jī)TETRA-30-LF，全自動(dòng)控制，主要用于清潔，蝕刻，活化
技術(shù)資料:
外型尺寸: W 600 mm, H 800 mm, D 650 mm
反應(yīng)室尺寸: W 305 mm, H 300 mm, L 370 mm (可選:L 625mm)
反應(yīng)室容積: 約 34 公升
氣體供應(yīng): 針閥控制型，雙氣體通道
射頻發(fā)生器: 40kHz/0-1000 W(可選: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
真空泵: Leybold, Type D16B(16 m3/h)
托盤(pán): 最多6件托盤(pán)(選項(xiàng) : 旋轉(zhuǎn)圓筒)
控制方式: 全自動(dòng)控制, 計(jì)時(shí)器控制制程時(shí)間
1. 13.56 MHz - 射頻發(fā)生器
以 DIN EN 55011為準(zhǔn)，我們的13.56 MHz 射頻發(fā)生其為石英穩(wěn)定型。手動(dòng)和自動(dòng)阻抗匹配。主要應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)榛罨?，清潔，蝕刻，半導(dǎo)體(前端)，半導(dǎo)體(后端)，等離子體聚合。
2. 40kHz - 射頻發(fā)器
自動(dòng)阻抗匹配，雙功率執(zhí)行器。主要應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)榛罨鍧?，蝕刻，半導(dǎo)體(后端)，等離子體聚合。
3. 2.45 GHz - 射頻發(fā)生器 (微波)
0-300瓦功率，PC接口。主要應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)榛罨?，清潔，半?dǎo)體(前端)，半導(dǎo)體(后端)，等離子體聚合。
4. 2/2 液體配量閥
可實(shí)現(xiàn)液體單體定量配給。
5. 半自動(dòng)控制系統(tǒng)
祥見(jiàn):等離子機(jī)/控制系統(tǒng)/半自動(dòng)控制系統(tǒng)
6. 全自動(dòng)控制系統(tǒng)
祥見(jiàn):等離子機(jī)/控制系統(tǒng)/全自動(dòng)控制系統(tǒng)
7. 電腦控制系統(tǒng)
祥見(jiàn):等離子機(jī)/控制系統(tǒng)/電腦控制系統(tǒng)
8. PCCE-控制系統(tǒng)
采用Windows CE 觸摸屏。 祥見(jiàn):等離子機(jī)/控制系統(tǒng)/PCCE控制系統(tǒng)
9. 活性炭過(guò)濾器
容易拆換
10. 真空抽氣入口過(guò)濾器
保護(hù)真空泵被周?chē)锛苛?，和污染損傷
11. 11. 自動(dòng)門(mén)
制程中自動(dòng)鎖閉，安全可靠
12. 條碼閱讀器
13. 加熱艙
帶調(diào)節(jié)器，可加熱至 80°C 。適用于特定制程條件并提高蝕刻率。
14. 偏壓測(cè)量系統(tǒng)
kHz- und MHz-射頻發(fā)生器自帶偏壓測(cè)量系統(tǒng)。
15. 噴水式飲水口瓶
屬于聚合附件，用于將液體單體灌注于真空艙內(nèi)。
16. 蝴蝶閥
17. 不同語(yǔ)種文獻(xiàn)
所有等離子機(jī)系統(tǒng)不自帶不屬機(jī)械指令89/392/EWG的非英語(yǔ)及德語(yǔ)語(yǔ)言，若有特殊需求需單獨(dú)定購(gòu)。
18. 旋轉(zhuǎn)圓筒
如用于固體工件處理。
19 測(cè)壓儀
以Pirani傳感器 或 Baratron 顯示器 顯示真空艙內(nèi)壓。
20. 氣瓶減壓閥
聯(lián)接于氣瓶-200巴。不同氣體需用不同氣瓶減壓閥。一種適用于H2, O2, CF4, C4F8 ，一種適用于NH3。
21. 連續(xù)運(yùn)作系統(tǒng)
使低壓等離子系統(tǒng)在工作線上得以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。
22. 標(biāo)準(zhǔn)備件或全氟聚醚(PFPE)
標(biāo)準(zhǔn)備件包括1個(gè)張力環(huán)，1個(gè)密封襯墊，1個(gè)不銹鋼波管（真空管） ， 1個(gè)窗玻璃，1個(gè)門(mén)密封襯墊，10個(gè)等離子機(jī)系統(tǒng)精密安全環(huán) ， 1升真空泵礦物油。(全氟聚醚(PFPE)標(biāo)準(zhǔn)備件含1升PFPE真空泵油)
23. 標(biāo)簽打印機(jī)
等離子體處理后自動(dòng)打印標(biāo)簽
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