etra-30-LF型 等離子清洗/刻蝕機---全自動控制型,適合清潔,蝕刻,活化
30公升小型等離子機TETRA-30-LF，全自動控制，主要用于清潔，蝕刻，活化
技術(shù)資料:
外型尺寸: W 600 mm, H 800 mm, D 650 mm
反應(yīng)室尺寸: W 305 mm, H 300 mm, L 370 mm (可選:L 625mm)
反應(yīng)室容積: 約 34 公升
氣體供應(yīng): 針閥控制型，雙氣體通道
射頻發(fā)生器: 40kHz/0-1000 W(可選: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
真空泵: Leybold, Type D16B(16 m3/h)
托盤: 最多6件托盤(選項 : 旋轉(zhuǎn)圓筒)
控制方式: 全自動控制, 計時器控制制程時間
選購/ 附件 [ 配件導購 ] 下列為可搭配的等離子機配件:
1. 13.56 MHz - 射頻發(fā)生器
以 DIN EN 55011為準，我們的13.56 MHz 射頻發(fā)生其為石英穩(wěn)定型。手動和自動阻抗匹配。主要應(yīng)用領(lǐng)域為活化，清潔，蝕刻，半導體(前端)，半導體(后端)，等離子體聚合。
2. 40kHz - 射頻發(fā)器
自動阻抗匹配，雙功率執(zhí)行器。主要應(yīng)用領(lǐng)域為活化，清潔，蝕刻，半導體(后端)，等離子體聚合。
3. 2.45 GHz - 射頻發(fā)生器 (微波)
0-300瓦功率，PC接口。主要應(yīng)用領(lǐng)域為活化，清潔，半導體(前端)，半導體(后端)，等離子體聚合。
4. 2/2 液體配量閥
可實現(xiàn)液體單體定量配給。
5. 半自動控制系統(tǒng)
祥見:等離子機/控制系統(tǒng)/半自動控制系統(tǒng)
6. 全自動控制系統(tǒng)
祥見:等離子機/控制系統(tǒng)/全自動控制系統(tǒng)
7. 電腦控制系統(tǒng)
祥見:等離子機/控制系統(tǒng)/電腦控制系統(tǒng)
8. PCCE-控制系統(tǒng)
采用Windows CE 觸摸屏。 祥見:等離子機/控制系統(tǒng)/PCCE控制系統(tǒng)
9. 活性炭過濾器
容易拆換
10. 真空抽氣入口過濾器
保護真空泵被周圍物件，涂料，和污染損傷
11. 11. 自動門
制程中自動鎖閉，安全可靠
12. 條碼閱讀器
13. 加熱艙
帶調(diào)節(jié)器，可加熱至 80°C 。適用于特定制程條件并提高蝕刻率。
14. 偏壓測量系統(tǒng)
kHz- und MHz-射頻發(fā)生器自帶偏壓測量系統(tǒng)。
15. 噴水式飲水口瓶
屬于聚合附件，用于將液體單體灌注于真空艙內(nèi)。
16. 蝴蝶閥
17. 不同語種文獻
所有等離子機系統(tǒng)不自帶不屬機械指令89/392/EWG的非英語及德語語言，若有特殊需求需單獨定購。
18. 旋轉(zhuǎn)圓筒
如用于固體工件處理。
19 測壓儀
以Pirani傳感器 或 Baratron 顯示器 顯示真空艙內(nèi)壓。
20. 氣瓶減壓閥
聯(lián)接于氣瓶-200巴。不同氣體需用不同氣瓶減壓閥。一種適用于H2, O2, CF4, C4F8 ，一種適用于NH3。
21. 連續(xù)運作系統(tǒng)
使低壓等離子系統(tǒng)在工作線上得以實現(xiàn)自動化。
22. 標準備件或全氟聚醚(PFPE)
標準備件包括1個張力環(huán)，1個密封襯墊，1個不銹鋼波管（真空管） ， 1個窗玻璃，1個門密封襯墊，10個等離子機系統(tǒng)精密安全環(huán) ， 1升真空泵礦物油。(全氟聚醚(PFPE)標準備件含1升PFPE真空泵油)
23. 標簽打印機
等離子體處理后自動打印標簽
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