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    等離子刻蝕機、去膠機、清洗機

    應用于半導體行業(yè)：

    真空等離子清洗機

    產(chǎn)品品牌

    戈德爾guarder

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國-山東省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    ￥6666.00
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    品牌：戈德爾guarder

    型號：

    所屬系列：真空等離子清洗機

     

    詳細介紹

     

     

    >> 等離子清洗機產(chǎn)品特點

      臺式小型機，PLC人機自動控制，內(nèi)部無電極，用于低污染及高潔凈材料表面清洗、刻蝕、活化等工藝。

    >> 等離子清洗機技術參數(shù)    

     ◆ 設備外形尺寸

        630(W)×650(D)×420(H)mm

     ◆ 倉體結構(合金鋁，約30升)  

        290(W)×290(H)×360(D)mm

     ◆ 放電電極(內(nèi)置電容耦合電極)

        180(W) ×210(D) mm

     ◆ 等離子發(fā)生器(韓國KM)

        頻率13.56MHZ,功率0-300W連續(xù)調(diào)節(jié),自動阻抗匹配

        可選擇40KHZ中頻等離子發(fā)生器(0-300W)

     ◆ 控制系統(tǒng)

        觸摸屏（7寸）+PLC單步法全自動控制,采用歐姆龍、西門子等世界著名品牌電器元件,  并具有手動、自動兩種模式

     ◆ 真空系統(tǒng)

        德國萊寶(Leybold)真空泵   D16C (20m3/h)

        SMC截止閥、充氣閥，德國(Inficon)壓力傳感器

     ◆ 壓力控制

        PID閉環(huán)自動穩(wěn)壓控制

     ◆ 氣路系統(tǒng)

        2路工藝氣體配置，電子質(zhì)量流量計、針閥，美國飛托克(FITOK)氣體管路

    >> 相關應用   

     

      - 光刻膠清洗 

      - 表面改性

     

     

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