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    包郵 關(guān)注:426

    等離子清洗機、刻蝕機、去膠機

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    真空等離子清洗機

    庫       存：

    111

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    ￥7777.00
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    品牌：

    型號：

    所屬系列：真空等離子清洗機

     

    詳細介紹

    >> 產(chǎn)品特點 
       滾筒式等離子處理系統(tǒng),由觸摸電腦+PLC多步流程全自動控制,全電路檢測,用于顆粒狀材料清洗、刻蝕、活化、接枝處理,動態(tài)旋轉(zhuǎn)，處理均勻，無死角，可選擇中頻、射頻、微波等離子處理模式。
    >> 技術(shù)參數(shù)
     ◆ 外形尺寸(不包括報警燈)
        1903(W)×980(D)×2075(H)mm
     ◆ 倉體結(jié)構(gòu)(合金鋁，約150升)
        500(W)×500(D)×600(H)mm
     ◆ 滾筒直徑
        400mm X450mm
     ◆ 等離子發(fā)生器(美國MKS)
        頻率13.56MHZ,功率0-600W連續(xù)調(diào)節(jié),自動阻抗匹配,全電路保護,可連續(xù)長時間工作
     ◆ 控制系統(tǒng)
        觸摸電腦+PLC全自動控制,采用歐姆龍、西門子等世界著名品牌電器元件，性能穩(wěn)定可靠,并具有手動、自動兩種模式
     ◆ 真空系統(tǒng)(真空壓力PID閉環(huán)自動控制)
        日本愛發(fā)科(ULVAC)機械真空泵 VDN901 (23L/S) x2臺（可選配愛德華干泵）    
        臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN40不銹鋼真空波紋管,德國英?？蹈呔日婵沼?傳感器
     ◆ 充氣系統(tǒng)
        美國MKS高精度電子質(zhì)量流量計(兩路氣體配制)、針閥
        美國世偉洛克氣體管路及接口組件，德國雙級減壓閥
        日本SMC及CKD高真空氣閥組件 

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