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關(guān)注:377
等離子清洗機(jī)、刻蝕機(jī)、去膠機(jī)、活化機(jī)
產(chǎn)品品牌
戈德?tīng)杇uarder
庫(kù) 存:
1000
產(chǎn) 地:
中國(guó)-山東省
產(chǎn)品特點(diǎn)
WB240等離子體清洗機(jī)采用專利高密度微波等離子技術(shù),用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中晶圓的清潔和等離子體預(yù)處理,微波等離子體清洗具有高度活性、高效,且不會(huì)對(duì)電子裝置產(chǎn)生離子損害。
微波等離子清洗機(jī)主要用途:
·等離子體表面改性
·有機(jī)物表面等離子體清潔
·邦定強(qiáng)度增強(qiáng)
·等離子體刻蝕應(yīng)用
·等離子體灰化應(yīng)用
·增強(qiáng)或減弱浸潤(rùn)性
·其它等離子體系統(tǒng)應(yīng)用
>> 技術(shù)參數(shù)
◆ 外形尺寸(不包括報(bào)警燈)
1000(W)×800(D)×1750(H)mm
◆ 倉(cāng)體結(jié)構(gòu)(石英,約20升)
Φ 245mm ×400Lmm
◆ 等離子發(fā)生器(德國(guó))
頻率2.45GHZ,功率0-1000W連續(xù)調(diào)節(jié),可連續(xù)長(zhǎng)時(shí)間工作
◆ 控制系統(tǒng)
觸摸電腦+PLC全自動(dòng)控制,采用歐姆龍、西門子等世界著名品牌電器元件,性能穩(wěn)定可靠,并具有手動(dòng)、自動(dòng)兩種模式
◆ 真空系統(tǒng)(真空壓力PID閉環(huán)自動(dòng)控制)
英國(guó)愛(ài)德華斡旋式干泵 GV40
美國(guó)MKS真空壓力控制節(jié)流閥及薄膜式傳感器
臺(tái)灣氣動(dòng)真空角閥、充氣閥、DN63不銹鋼真空波紋管
◆ 充氣系統(tǒng)
美國(guó)MKS高精度電子質(zhì)量流量計(jì)(2路氣體配制)
美國(guó)世偉洛克氣體管路及接口組件,德國(guó)雙級(jí)減壓閥
日本SMC及CKD高真空氣閥組件
>> 相關(guān)應(yīng)用
- 晶圓光刻膠清洗
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