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    擴散爐爐體

    應用于半導體行業(yè):

    半導體加工設備耗材-爐類設備耗材

    發(fā)貨期限:

    15天

    庫       存:

    1

    產       地:

    全國

    數       量:

    減少 增加

    價       格:

    1.00
    交易保障 擔保交易 網銀支付

    客服電話:4001027270

    品牌:

    型號:

    所屬系列:半導體加工設備耗材-爐類設備耗材

    1)爐絲:加熱絲采用英國KANTHAL,A-1牌號,Ф8mm爐絲,可多年長期工作在1290℃的高溫下,加熱爐絲采用三段——九段控溫結構,加熱纏繞等特殊技術和模具,確保了繞制爐絲時爐絲直徑的均勻度。

    2)絕緣子:絕緣子的功能是,一方面要保證爐絲匝間間距的均勻性,因為它直接影響恒溫區(qū)參數。另一方面爐絲需要靠絕緣子支撐,以保證高溫使用情況下不下塌。為了保證在有限長度的爐體上獲得更長的恒溫區(qū),采用多種間距的絕緣子(理論依據:單段加熱爐體溫度在爐體長度上呈正態(tài)分布,多段加熱爐體內溫度可以使用迭加原理計算)。絕緣子還利用拉條技術用多條微型爐絲來支撐絕緣子防止爐絲變形及下塌,具體分布設計幾條要看爐體內徑大小設計。

    3)保溫材料:保溫材料的材質和保溫材料的包裝工藝是爐體的又一個極其重要的關鍵技術,根據爐體的具體使用要求來進行設計和計算。選擇美國摩根公司含鋯塞拉纖維針刺毯,這種保溫材料纖維長,纖維直徑小,容重合適,氣孔率高,主要成分為AL2O3,雜質少,保溫隔熱性能優(yōu)越。在包裝工藝上,嚴格按照“無縫”包裝的要求,通過工裝來實現包裝松緊、稀密程度,最終保證爐體外殼溫度不高于100度。膨脹變形在高溫1300度以內變形正負0.2mm,控制溫度精度:正負0.5度、單點控制精度正負0.5度。

    如果車間設備過多,建議用戶使用水冷爐體,可以使爐體外表皮溫度降到常溫要求。

    4)外殼:選用304不銹鋼磨砂板。外殼上裝有電極引線板和熱偶座。一個是超溫保護熱偶座。另外還有標注爐體參數的名牌

    5)把口環(huán):把口環(huán)的功能有二:一是保溫隔熱,二是承載石英管。因此要求它不但具有保溫隔熱性能好,而且要有一定的機械強度。本項目采用輕質陶瓷纖維材料制作,避免裂縫和卷曲。真空技術制作。

    6)擋風管:擋風管是安裝在爐體和排毒箱之間的過度連接,材質與把口環(huán)相同。

    7)保質期一年,具體使用壽命24小時/1000度以內4年左右。

    以上描述的是加熱體的基本概述及簡單數據,具體數據還要根據客戶的要求和現有的爐體尺寸定做。

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