SuperQuartz™超級晶振片 | SQ™超級石英晶振片 | SQ™超高溫晶振片
工作溫度超過100°C的過程中標準石英晶振片會產生非常多的噪聲,阻礙了精確而穩(wěn)定的薄膜厚度測量。為了解決這個問題,我們公司用先進技術制造了SuperQuartz(SQ)™超級石英晶振片,SQ晶振片可高效地工作在500°C以上的溫度,完美地應用于高熱過程,如ALD, CVD, OVPD和高溫PVD等。
SQ超級石英晶振片上可擁有金、鋁或鉑電極,SQ™石英晶振片的工作溫度可達500°C或高于500°C,頻率:5和6MHz,直徑14mm。
應用:
● 原子層沉積 (ALD)
● 化學氣相沉積 (CVD)
● 分子束外延 (MBE)
● CIGS (薄膜太陽電池)
● OLED
● 多層光學薄膜沉積