SuperQuartz™超級(jí)晶振片 | SQ™超級(jí)石英晶振片 | SQ™超高溫晶振片
工作溫度超過(guò)100°C的過(guò)程中標(biāo)準(zhǔn)石英晶振片會(huì)產(chǎn)生非常多的噪聲,阻礙了精確而穩(wěn)定的薄膜厚度測(cè)量。為了解決這個(gè)問(wèn)題,我們公司用先進(jìn)技術(shù)制造了SuperQuartz(SQ)™超級(jí)石英晶振片,SQ晶振片可高效地工作在500°C以上的溫度,完美地應(yīng)用于高熱過(guò)程,如ALD, CVD, OVPD和高溫PVD等。
SQ超級(jí)石英晶振片上可擁有金、鋁或鉑電極,SQ™石英晶振片的工作溫度可達(dá)500°C或高于500°C,頻率:5和6MHz,直徑14mm。
應(yīng)用:
● 原子層沉積 (ALD)
● 化學(xué)氣相沉積 (CVD)
● 分子束外延 (MBE)
● CIGS (薄膜太陽(yáng)電池)
● OLED
● 多層光學(xué)薄膜沉積