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電子氣質(zhì)量規(guī)格如下:
(1)電子級三氯氫硅及二氯二氫硅
項目 |
產(chǎn)品指標 |
純度 |
≥99.99wt% |
電阻率 |
≥1000Ω.cm |
砷+磷 |
0.04ppba |
硼 |
≤0.01ppba |
鋁 |
≤1.00ppb |
鐵 |
≤0.2ppbw |
(2)六氯二硅烷
項目 |
產(chǎn)品指標 |
純度 |
≥99.95wt% |
鋁 |
≤10ppb |
鐵 |
≤10ppb |
鈦 |
≤10ppb |
其它金屬雜質(zhì) |
≤5ppb |
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