11.氟化物靶材：氟化釓靶材GdF、氟化釔靶材YF、氟化鑭靶材LaF、氟化鐿靶材YbF、氟化鉺靶材ErF、氟化鈥靶材HoF、氟化鈰靶材CeF、氟化鋱靶材TbF、氟化銪靶材EuF、氟化鐠靶材PrF、氟化釤SmF、氟化擼靶材LuF、氟化鏑靶材DyF、氟化釹靶材NdF、氟化鈧靶材ScF、氟化鎂靶材MgF、氟化鋇靶材BaF、氟化納靶材NaF、氟化鋁靶材AlF、氟化鈦靶材TiF.

12.硅化物靶材：硅化鋁靶材AlSi、硅化鉻靶材CrSi、硅化鎳靶材NiSi、硅化鎢靶材WSi、硅化鉿靶材HfSi、硅化鋯靶材ZrSi、硅化鈮靶材NbSi、硅化釩靶材VSi、硅化錳靶材MnSi、硅化鉬靶材MoSi、硅化鎂靶材MgSi、硅化鈦靶材TiSi、硅化鐵靶材FeSi、硅化鈣靶材CaSi.

13.特種復(fù)合物陶瓷靶材：氧化鋅鋁靶材AZO、氧化銦錫靶材ITO、鈦酸鋇靶材BaTiO3、鈦酸鍶靶材SrTiO3、鈦酸鍶鋇靶材BaSrTiO3、鐵酸镥靶材LuFeO3、鈦酸鐠靶材PrTiO3、鈦酸鉛靶材PbTiO3、鋯酸鉛靶材PbZrO2、鋯鈦酸鉛靶材PbZrTiO3、鐵酸鉍靶材BiFeO3、釕酸鍶靶材SrRuO3、鈮酸鋰靶材LiNbO3、鉭酸鋰靶材LiTaO3、鐵酸鉍镥靶材LuBiFeO3、鉍酸鋇靶材BaBiO3、鈷酸鋇靶材BaCoO3、銅酸鋇靶材BaCuO2、鐵酸鋇靶材BaFe12O19、錳酸鋇靶材BaMnO3、鉻酸鉍靶材BiCrO3、釤酸鉍靶材BixSm(1-x)O3、銅酸鈣靶材CaCuO2、錳酸鈣靶材CaMnO3、鈦酸鈣靶材CaTiO3、鐵酸鈷靶材CoFe2O4、鏑鋇銅氧靶材DyBa2Cu3O7、鈥鋇銅氧靶材HoBa2Cu3O7，釔鋇銅氧靶材Y Ba2Cu3O7，鈷酸鉺靶材ErCoO3、鎵鋇銅氧靶材GaBa2Cu3O7、鉻酸釓靶材GdCrO3、鈧酸釓靶材GdScO3、銅酸鑭靶材，La2CuO4、鋯酸鑭靶材La2Zr2O7、鋁酸鑭材LaAlO3、鈷酸鑭靶材LaCoO3、鉻酸鑭靶材LaCrO3、鐵酸鑭靶材LaFeO3、錳酸鑭靶材LaMnO3、鎳酸鑭靶材LaNiO3、鑭鋇鈷氧靶材LaxBa(1-x)CoO3、鑭鈣鈷氧靶材LaxCa(1-x)CoO3、鑭鈣鈷氧靶材LaxCa(1-x)MnO3、鑭鈣錳氧靶材LaxSr(1-x)CoO3、鑭鍶錳氧靶材LaxSr(1-x)CoO3、鑭鍶鐵氧靶材LaxSr(1-x)FeO3、鑭鍶鈦氧靶材LaxSr(1-x)TiO3、鑭鍶銅氧靶材LaxSr(2-x)CuO4、錳酸镥靶材LuMnO3、銅酸釹靶材Nd2CuO4、釹鋇銅氧靶材NdBa2Cu3O7、鐵酸鎳靶材NiFe2O4、鋯鈦酸鉛靶材PbZrxTi(1-x)O3、鐠鋇銅氧靶材PrBa2Cu3O7、鈷酸鐠靶材PrCoO3、鐠鈣錳氧靶材PrxCa(1-x)MnO3、錳酸鈧靶材ScMnO3、釤鋇銅氧靶材SmBa2Cu3O7、鈧酸釤靶材SmScO3、鈷酸鍶靶材SrCoO3、銅酸鍶靶材SrCuO2、鐵酸鍶靶材SrFe12O19、錳酸鍶靶材SrMnO3、鐵酸釔靶材Y3Fe5O12、鋁酸釔靶材、鐿錳氧靶材YbMnO3等。

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