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    三氟化氮

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體原材料-氣體類原材料-蝕刻氣體

    產(chǎn)品品牌

    派瑞

    庫       存：

    1000

    產(chǎn)       地：

    中國-河北省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

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    品牌：派瑞

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體原材料-氣體類原材料-蝕刻氣體

     　　包裝規(guī)格　　Cylinder(47L)、Bundle(16×47L)、Bundle(25×47L)、Y-Cylinder(470L)、ISO等

    鋼瓶容積

    鋼瓶型號

    閥門

    鋼瓶壓力

    氣體質(zhì)量

    危規(guī)號

    UN編號

    包裝分類

    包裝標(biāo)志

    47L、43.3L、40L、8L

    DOT-3AA、GB5099

    CGA330、CGA640

    9.0-13.0MPa

    22kg、20kg、3.4kg

    23016

    2451

    Ⅱ

    6

    　　應(yīng)用　　三氟化氮是微電子工業(yè)中一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，對硅和氮化硅蝕刻，采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳與氧氣的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性，而且對表面無污染，尤其是在厚度小于1.5um的集成電路材料的蝕刻中，三氟化氮具有非常優(yōu)異的蝕刻速率和選擇性，在被蝕刻物表面不留任何殘留物，同時也是非常良好的清洗劑。

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