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藍寶石爐銅電極（走水電極、長晶爐主導(dǎo)電體）

是藍寶石長晶真空爐的重要部件之一，是爐內(nèi)加熱熱場與爐外電源的連接通道；在爐內(nèi)與熱場（鳥籠）直接搭接，延伸到爐外的導(dǎo)電柱通過導(dǎo)電夾、軟連接與電源柜連接。

該部件的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，精度要求高，加工難度較大，主要體現(xiàn)在：

（1）導(dǎo)電柱與爐蓋的結(jié)合：

導(dǎo)電電極是在藍寶石長晶真空爐膛內(nèi)，要穿過爐蓋與外部電源連接，所以電極4個導(dǎo)電柱之間的公差要求非常嚴格，要和爐蓋上的4個孔位距離完全一致。如有誤差將不能裝配。

（2）導(dǎo)電電極在加工過程中變形的問題：

電極是純銅原料加工而成，從原材料到成品，要經(jīng)過很多道工序，每道工序都會產(chǎn)生應(yīng)力，故容易變形。尤其是在最后的焊接工序，因為焊接過程產(chǎn)生的熱量會使應(yīng)力釋放，工件很可能會嚴重變形，精加工的所有公差尺寸都會受到影響，且無法調(diào)整。

（3）電極冷卻水的走水密封：

電極的截流能力遠大于導(dǎo)電要求，故導(dǎo)電電極自身不會發(fā)熱，但真空長晶爐內(nèi)雖有隔熱裝置還有較高的溫度傳導(dǎo)到電極。加熱熱場的電熱絲通過導(dǎo)電環(huán)會直接把熱量傳導(dǎo)到電極。所以電極必須要通水冷卻來保證電極的正常工作，真空長晶爐是高溫高真空的工作環(huán)境才能有效長出晶體。故對電極的主體與導(dǎo)電柱、走水槽封板、工藝孔堵頭部分的焊接有非常嚴格的要求。既不能因焊接降低導(dǎo)電率，又絕對不能有任何細微的滲漏，否則就達不到真空要求，長不出晶體。

我們通過與眾多科研單位的密切合作，參考多家國外公司先進產(chǎn)品的成功經(jīng)驗，利用國內(nèi)外的先進設(shè)備，攻破了各個環(huán)節(jié)上的技術(shù)難題，成功開發(fā)出了最新藍寶石長晶爐專用無焊縫式銅電極減少了焊接帶來的形變及其走水通道的優(yōu)化,降低焊縫帶來漏水的風(fēng)險。

每件產(chǎn)品出廠必須通過正壓、負壓、導(dǎo)電率等各項指標的嚴格檢驗。多年來，通過多家藍寶石長晶爐生產(chǎn)廠家使用，在業(yè)界獲得一致好評

藍寶石爐無焊縫銅電極的加工工藝：
  ①開模冷軋藍寶石爐銅電極毛坯及水路;
     ②精加工藍寶石爐銅電極毛坯;
     ③加工中心加工藍寶石爐銅電極進出水孔及各連接孔；

④藍寶石爐銅電極形位尺寸精加工；

⑤焊接藍寶石爐銅電極兩頭及電極桿；

⑥藍寶石爐銅電極漏水試驗；

⑦藍寶石爐銅電極表面鈍化處理；

⑧藍寶石爐銅電極二次漏水試驗；

⑨藍寶石爐銅電極合格成品木箱包裝出廠。

藍寶石爐銅電極

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