除氣

要將規(guī)管放氣減少到可以忽略的程度，必須執(zhí)行除氣操作。玻璃規(guī)管要達(dá)到最低壓力點(diǎn)需要在400攝氏度下烘烤一小時(shí)。

電極除氣要在烘烤后再進(jìn)行900攝氏度的高溫加熱約15分鐘。

電極加熱可以通過(guò)電子轟擊（EB）或通過(guò)柵級(jí)加低壓大電流（I2R）的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)。通常，規(guī)管都裝有組合柵極，即鼠籠狀柵極與多個(gè)相交元件焊接在一起，這時(shí)柵極除氣僅通過(guò)電子轟擊方式實(shí)現(xiàn)。收集極也可以僅通過(guò)電子轟擊方式來(lái)除氣。柵極包括單螺旋結(jié)構(gòu)和雙螺旋結(jié)構(gòu)，螺旋結(jié)構(gòu)的兩端都有外部連接，可以通過(guò)大電流方式除氣。所有帶螺旋柵極的規(guī)管也可以通過(guò)電子轟擊方式進(jìn)行除氣。

274022，274023，274041和274042規(guī)管使用的是鼠籠是柵極，所以必須使用電子轟擊除氣方式。為了使裸規(guī)更試用于I2R除氣方式，我們研發(fā)了2740028和274043規(guī)管。

漏電

壓力測(cè)量精度取決于毫安表可以測(cè)量的電流有多低，同時(shí)也受漏電影響。漏電路徑分為內(nèi)部和外部。

內(nèi)部和外部漏電在BA規(guī)的設(shè)計(jì)中就將其控制在最低可能值。規(guī)管收集終端在柵極端蓋和陰極終端的相反端。

在底部或頭部引出收集極接腳的設(shè)計(jì)比焊接管腳的設(shè)計(jì)更容易引起漏電問題。

內(nèi)部漏電通常是由于鎢或是氧氣釷從陰極上蒸發(fā)出來(lái)造成的。

抽氣作用

電離規(guī)會(huì)表現(xiàn)出一定的抽氣作用。這主要是用于化學(xué)清除和電清除機(jī)理。通常，化學(xué)清除是用于各種清潔表面都有吸氣作用。當(dāng)表面趨于飽和，這種抽氣作用就會(huì)減弱并達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)。在化學(xué)清除過(guò)程中，常規(guī)玻璃管規(guī)的讀數(shù)會(huì)比正常值低百分之二十到五十。在1*10-9torr下抽氣作用可能會(huì)持續(xù)四個(gè)小時(shí)之久。在1*10-9torr下大約要3個(gè)月后電子或離子除氣才會(huì)飽和。最常用的抽氣作用消除方式就是在規(guī)管和真空系統(tǒng)之間布置大通導(dǎo)連接。

在規(guī)管中的第三種抽氣機(jī)理是與熱陰極的化學(xué)反應(yīng)。很多氣體諸如氧，氮，水蒸氣，及氫都會(huì)與鎢中的碳發(fā)生反應(yīng)。這些反應(yīng)的比例取決于系統(tǒng)溫度，并且如果選用了大通導(dǎo)連接則測(cè)量誤差是非常低的甚至可以避免。然而，如果是在小系統(tǒng)中則這種氣體成分的改變會(huì)比較明顯。

許多中應(yīng)對(duì)抽氣作用的規(guī)管結(jié)構(gòu)可以選擇。

玻璃規(guī)管帶3/4英寸接管的結(jié)構(gòu)，例如274002，就有足夠的通導(dǎo)可以使用至10-8torr范圍。如果規(guī)管要用于10-10torr范圍的測(cè)量則可選1英寸接管（274015）.為了補(bǔ)償高速電清除作用，所有內(nèi)部屏蔽的規(guī)管都應(yīng)配置1英寸接管。

相對(duì)于劇烈的電離規(guī)抽氣問題裸規(guī)是最佳選擇。緣于裸規(guī)的外形，規(guī)管元件可以直接置于真空腔體內(nèi)，因此消除規(guī)管相關(guān)的壓差問題。相對(duì)規(guī)管來(lái)說(shuō)，裸規(guī)的系統(tǒng)響應(yīng)時(shí)間也大大減少。

分類

玻離管規(guī)

特點(diǎn)：非松陷的雙絲柵極

         耐燒型陰極或雙鎢絲陰極

         接管-3/4英寸或1英寸直徑，可伐，耐熱玻璃或法蘭可選

         聶耳除氣或電子轟擊除氣

         配有標(biāo)準(zhǔn)電氣接頭

電子轟擊除氣方式的電離裸規(guī)

特點(diǎn)：籠狀柵極

         耐燒型陰極或雙鎢絲陰極

         電子轟擊除氣

         配有標(biāo)準(zhǔn)法蘭連接

         可更換陰極組件

焦耳除氣或電子轟擊除氣方式的電離裸規(guī)

特點(diǎn)：

        非松陷的雙絲柵極

        耐燒陰極

        聶耳除氣或電子轟擊除氣

        配有標(biāo)準(zhǔn)電氣接頭

        可更換陰極組件

特性
物理數(shù)據(jù)	玻璃管規(guī)	電子轟擊除氣方式的裸規(guī)	聶耳除氣方式的裸規(guī)
接管	3/4 in.（19mm）或1 in.(25mm)直徑.*2 1/4 in.(57mm)長(zhǎng)，可伐，耐熱玻璃或法蘭	不適用	不適用
外殼	None*7720玻璃，2 1/4 in.（57m）直徑.5in.(127mm)長(zhǎng)	裸規(guī)，外徑2  3/4英寸 CF法蘭	裸規(guī)，外徑2 3/4英寸 CF法蘭
安裝方向	任意方向，垂直優(yōu)先	任意方向	任意方向
收集極	鎢絲，直徑0.010英寸	鎢絲，直徑0.005英寸	鎢絲，直徑0.010英寸
陰極	雙鎢絲或單根渡氧化釷的銥絲	雙鎢絲或雙鍍氧化釷的銥絲，可更換組件	鍍氧化釷的銥絲，可更換組件
柵極	難熔金屬	難熔金屬	難熔金屬
全長(zhǎng)	6 in.(152mm)	4 1/8 in.(105mm)	4 1/8 in.(105mm)
插入長(zhǎng)度	不適用	3 in.(76mm)	3in.(76mm)
操作數(shù)據(jù)
對(duì)氮?dú)忪`敏度	10/TORR	25/TORR	10/TORR
常規(guī)精度	±20%	±20%	±20%
X射線極限	約3*10-10 Torr	約2*10-11 Torr	約4*10-10Torr
電子轟擊除氣	最大100w	最大40w	最大100w通常70w
電阻加熱除氣	10A時(shí)，6.3到7.5Vac	不適用	10A時(shí)，6.3到7.5Vac
烘烤	450攝氏度	450攝氏度	正在載入交易記錄... 裝箱清單 Bayard-Alpert Gauge（玻璃規(guī)或裸規(guī)）   1只 使用說(shuō)明書    1份 海綿包裝盒    1個(gè) 售后保障  規(guī)管無(wú)質(zhì)保，保證原裝正品 應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)同類產(chǎn)品： Thyracont VSP63MV Pirani Vacuum Gauge 面議 Pfeiffer普發(fā) IKR251真空計(jì) 面議 MDC Vacuum Nude Ionization Gauge 面議 MKS真空計(jì) 925皮拉尼真空計(jì) 面議 Granville-phillips 275 Mini-Convectron Gauge 面議 Granville-Phillips 274 Bayard-Alpert Type Ionization Gauge 面議 Adixen Alcatel AP2004 Pirani Gauge 面議 Ulvac愛發(fā)科 SW1真空計(jì) 面議 Kurt J. Lesker 275 Convection Pirani vacuum gauge sensor 面議 Teledyne Hastings DV-6M Thermocouple Gauge 面議 美國(guó)Instrutech CVM211GBA真空計(jì) 面議 G75PT G75P G75KT G75K Fil-tech離子規(guī) 真空計(jì) 面議 用于模擬或數(shù)字壓力測(cè)量的真空計(jì) 普發(fā)真空 ￥1.00 DV-6M-KF-16 DV-6M-KF-25便攜式熱偶規(guī) 真空計(jì) KF法蘭接口 面議 Applied Materials應(yīng)用材料設(shè)備真空計(jì) 3310-01012熱偶規(guī) 面議 Duniway I-75-K Glass Ion Gauge Tube 面議 DV-4D DV-4R DV-4D-VCR Teledyne Hastings 真空計(jì) 熱偶規(guī) 面議 G100KC G100PT G100KT G100KF G100P Fil-tech離子規(guī) 面議 275203 , 275196 Granville Phillips真空規(guī)管，真空測(cè)量計(jì) 面議 關(guān)于我們 | 購(gòu)物指南 | 營(yíng)業(yè)執(zhí)照 | 幫助中心 | 友情鏈接 | 聯(lián)系我們 Copyright? 半導(dǎo)體商城 2015-2022，All Rights Reserved 京公網(wǎng)安備 11010602104391號(hào) 京ICP備15002921號(hào)??      服務(wù)熱線 4001027270 功能和特性 價(jià)格和優(yōu)惠 微信公眾號(hào)