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在微電子和光電子材料及器件的研究和生產(chǎn)領(lǐng)域,氮化硅已然成為一種重要的薄膜材料。隨著超大規(guī)模集成電路的發(fā)展,集成度、復雜性和封裝要求的不斷提高,氮化硅作為鈍化膜、絕緣層、擴散掩膜應用越來越廣泛。研究發(fā)現(xiàn),硅中的氮能夠提高硅單晶的強度,防止硅片翹曲,并能抑制微缺陷形成。
哈爾濱特博科技有限公司是全國第二大氮化硅片供應商,對氮化硅片生產(chǎn)有8年以上的制備經(jīng)驗。
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