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    4英寸氧化硅片單面拋光不同氧化厚度

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體原材料-晶片—襯底類-硅襯底

    庫       存:

    500

    產(chǎn)       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    160.00
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    所屬系列:半導(dǎo)體原材料-晶片—襯底類-硅襯底


    我公司可為客戶訂制不同參數(shù)的二氧化硅氧化片,質(zhì)量優(yōu)良;氧化層厚度、致密性、均勻性和電阻率晶向等參數(shù)均按照國標(biāo)執(zhí)行。另:我司代理LPCVD PECVD 鍍膜氧化等工序歡迎來電咨詢及加工;

        熱氧化物表面形成二氧化硅層。在氧化劑的存在下在升高的溫度下,給過程稱為熱氧化。通常生長熱氧化層的在水平管式爐中。溫度范圍控制在900到1200攝氏度,使用濕法或者干法的生長方法。熱氧化物是一種生長的氧化物層。相對于CVD法沉積的氧化物層,它具有較高的均勻性和更高的介電強度。這是一個極好的作為絕緣體的介電層。大多數(shù)硅為基礎(chǔ)的設(shè)備中,熱氧化層都扮演著非常重要的角色,以安撫硅片表面。作為摻雜障礙和表面電介質(zhì)。
        應(yīng)用范圍:
    1,刻蝕率測定
    2,金屬打線測試
    3,金屬晶圓
    4,電性絕緣層

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