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1. 四管式高溫爐低壓化學(xué)氣相沉積系統(tǒng). 1

? 系統(tǒng)設(shè)計(jì)適于 4”圭片量產(chǎn)150片/RUN..

? 手動(dòng)供料系統(tǒng)

? Eurotherm 2408 溫控系統(tǒng) (新品)

? ITS Tymkon 計(jì)算器共容過(guò)程控制系統(tǒng)

? 美囯Thermco 4304 爐體翻新

? 美囯MRL 200 ~ 1200 C 加熱爐膛

? PCS 3 Levels 供氣管路系統(tǒng) , 包括含氧多晶圭LPCVD 2套 LTO一套

? 5 道氣體減壓閥管路柜 , ( Air, N2,O2,SiH4,N2O ).

LEVEL 1 :EMPTY

LEVEL 2 : SIPOS 含氧多晶圭LPCVD

LEVEL 3 : SIPOS 含氧多晶圭LPCVD

LEVEL4 : LTO 二氧化圭LPCVD

? 水冷式 316SS 不銹鋼法蘭門.單門SIPOS,雙門LTO

? PCS 5 管路UNIT 質(zhì)量流量計(jì).

? MKS651 蝶閥控制器.

? MKS 253B 蝶閥.

? MKS 628B Baratron 1 torr 壓力傳感器.

? PWR 壓力顯示器

? 機(jī)械真空幚浦.

? 魯氏幫浦

? AP120 真空干幚浦

? ITS Tymkon 程控器.

? ITS GPI 904 氣控箱

LPCVD(低壓化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)）

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

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