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    包郵 關(guān)注:344

    瑞典Mycronic 掩膜計量系統(tǒng)Prexision-MMS

    產(chǎn)品品牌

    瑞典Mycronic

    庫       存：

    1

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：瑞典Mycronic

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-光刻設(shè)備-其它光刻設(shè)備

     
    瑞典Mycronic 掩膜計量系統(tǒng)Prexision-MMS
     
    詳細(xì)介紹


    掩膜計量系統(tǒng)

    證明您的質(zhì)量

    為了說明產(chǎn)品是符合規(guī)范的，您必須證明激光掩膜上的圖形能夠在制造顯示屏?xí)r恰當(dāng)?shù)貙R。為了實現(xiàn)這一點，您需要比光刻機精度更高的測量設(shè)備。

     

    主要優(yōu)勢

    *更佳的配準(zhǔn) 30%

    *更好地將掩膜套合到掩膜上  20%

    *更短的周轉(zhuǎn)時間30%

    · 最新的創(chuàng)新性Prexision平臺具備優(yōu)異的精準(zhǔn)度與可重復(fù)性

    · 用我們的專利技術(shù)改善配準(zhǔn)測量。

    · 因為第一次測量的結(jié)果精確無誤，這大大給您節(jié)省了周轉(zhuǎn)時間。

    · 充分發(fā)揮我們的Prexision光刻機的潛力。


    基于最精確的    Prexision平臺打造出的Prexision-MMS將對大面積的配準(zhǔn)測量帶到了全新的高度?，F(xiàn)在，您可以證明您的光掩膜質(zhì)量究竟有多好了！

    為充分利用其性能，您的測量系統(tǒng)性能對于精密調(diào)校光刻機也是極其重要的，這樣您的光掩膜才能以最高的質(zhì)量描繪出來。

     Prexision-MMS 提供兩個型號。G8 型最高可處理用于 8 代顯示器玻璃尺寸的掩模尺寸。對于 G10 型，最高可處理 11 代顯示器尺寸。

     


    技術(shù)指標(biāo)     

     

    Prexision-MMS

    掩膜對掩膜套合3σ[nm]

    40

    配準(zhǔn)3σ[nm]

    65

    關(guān)鍵尺寸可重復(fù)性3σ[nm]

    50

    最大尺寸

    G8

     
     

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