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    ALICAT防爆型氣體質(zhì)量流量計/控制器

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體器件-MFC

    庫       存：

    999

    產(chǎn)       地：

    美國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體器件-MFC

     ALICAT防爆型氣體質(zhì)量流量計/控制器

    l 差壓原理，具有防爆認(rèn)證

    l 量程范圍：從0-0.5SCCM到0-4000SLPM

    l 壓力范圍：1MPa

    l 響應(yīng)時間：流量計10ms/控制器100ms

    l 精度：±（0.8％讀數(shù)+0.2％滿量程）

    l 可選±（0.4％讀數(shù)+0.2％滿量程）

    l 認(rèn)證：ATEX、CSA，Class 1Division 2

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    4001027270

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