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設(shè)備用途及特點: |
1. 本設(shè)備依據(jù)主要適用于晶圓的倒角工序,具有操作簡單、生產(chǎn)效率高和耗材成本低等特點。 2. 設(shè)備主體構(gòu)件采用天然大理石材質(zhì);機器穩(wěn)定不變形,運動時振動小,是機器保障精度永久不變形的首選。 3. 機床關(guān)鍵部件導(dǎo)軌采用進口精密級,保證機床的高精度。具有高強度導(dǎo)向和運動平穩(wěn)性,適合高速加工:機床采用進口研磨級絲桿,傳動精度高,能確保長時間內(nèi)機械誤差。 4. 設(shè)備標(biāo)配4英寸專用晶圓夾具,提高了生產(chǎn)效率、減少了工人的勞動強度。 5. 運動驅(qū)動采用日本進口伺服系統(tǒng),配合高精度的運動部件,最高運動速度為18m/分,最高倒角速度為15m/分。 6. 采用高精度、高靈敏度日本美德龍自動對刀儀,保證刀具長度自動補償,確保加工精度。 7. 主軸選用6萬轉(zhuǎn)速﹑氣動換刀﹑陶瓷軸承電主軸;確保加工光潔度,效率高。 8. 專業(yè)三重全防水結(jié)構(gòu)設(shè)計,在最惡劣的工況環(huán)境下,也能確保絲桿導(dǎo)軌不受污染。 9. 采用意大利水泵,六點式噴水設(shè)計,加工中水能均勻全方位的包住磨頭;提高刀具的使用壽命、有效的防止晶圓的崩邊。 10. 采用臺灣寶元專用控制系統(tǒng),開放式軟件接口,自動加工支持完整ISO標(biāo)準(zhǔn)的G指令、HP繪圖儀(HP PLT)格式、DXF格式和精雕加工(ENG)格式,支持國內(nèi)外主CAD/CAM軟件。 |
主要技術(shù)參數(shù): |
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