DS-2000/14K型光刻機(jī) 上海佰芯 設(shè)備商城

◆光源：350W球形汞燈（曝光譜線： i線）；
◆照明均勻性：2%；
◆物鏡倍率：14倍
◆曝光場面積：1mm×0.75mm
◆光刻分辨力：1 μm
◆工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)范圍：X：100mm、 Y：100mm；
工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)定位精度：0.65μm；
◆調(diào)焦臺(tái)運(yùn)動(dòng)靈敏度：1μm；
◆對(duì)準(zhǔn)精度：2μm；
◆調(diào)焦臺(tái)運(yùn)動(dòng)行程：6mm
◆檢焦：CCD檢測，檢測精度2微米
◆轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)行程：±6°以上
◆基片尺寸
外徑:Ф1mm—Ф100mm，厚度：0.1mm--5mm

◆外形尺寸：840mm（長）450mm(寬) 830mm（高）

技術(shù)特征◆采用DMD作為數(shù)字掩模，像素1024768
◆采用14倍縮小投影光刻物鏡成像，一次曝光面積約1mm×0.75
◆采用專利技術(shù)——積木錯(cuò)位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)均明。
◆采用進(jìn)口精密光柵、進(jìn)口電機(jī)、進(jìn)口導(dǎo)軌、進(jìn)口絲杠實(shí)現(xiàn)精確工件定位和曝光拼接，可適應(yīng)100mm100mm基片。
◆采用CCD檢焦系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)整場調(diào)平、自動(dòng)逐場調(diào)焦或自動(dòng)選場調(diào)焦曝光。
◆具備對(duì)準(zhǔn)功能

配置◆照明系統(tǒng)
   350W直流汞燈（德國）、橢球鏡、準(zhǔn)直鏡、蠅眼透鏡組、場鏡組、365nm濾光片、氣動(dòng)快門、DMD（美國德州儀器）、冷卻風(fēng)扇。
◆投影物鏡(可根據(jù)用戶要求設(shè)計(jì)增加，如2.8倍、5倍、10倍等)
◆分辨力1μm（縮小倍率14倍）
◆工件臺(tái)系統(tǒng)
 X臺(tái)：電機(jī)驅(qū)動(dòng)器（日本樂孜）、絲杠（日本NSK）、導(dǎo)軌2（日本THK）、光柵（美國）
 Y臺(tái)：電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器（日本樂孜）、絲杠（日本NSK）、導(dǎo)軌2（日本THK）、光柵2（美國）
   轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)：電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器（日本樂孜），轉(zhuǎn)動(dòng)軸系
 Z臺(tái)：電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器（日本樂孜）、絲杠、上升導(dǎo)向機(jī)構(gòu)
   承片臺(tái)：3英寸（可增加4英寸、2英寸、1英寸等）
◆檢焦系統(tǒng)
   焦面光學(xué)檢測系統(tǒng)、CCD、焦面檢測軟件
◆對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
　　對(duì)準(zhǔn)光學(xué)檢測系統(tǒng)、CCD、對(duì)準(zhǔn)軟件
◆電控系統(tǒng)
　　　汞燈電源及觸發(fā)器、主機(jī)控制系統(tǒng)、軟件、計(jì)算機(jī)、監(jiān)視器（19英寸液晶）、接口
◆花崗巖平臺(tái)
◆控制柜桌
◆氣動(dòng)系統(tǒng)
  電磁閥、旋轉(zhuǎn)氣缸、減壓閥、壓力表、真空表
◆技術(shù)資料：操作說明書
◆選配件
  350W直流高壓汞燈（每增加1只3000元）、承片臺(tái)（每增加1個(gè)800元），投影物鏡（每增加一種2.2萬）
◆其他附件
真空泵一臺(tái)(無油泵)
空壓機(jī)一臺(tái)（靜音泵）
管道
◆技術(shù)資料
使用維修說明書
使用操作DVD

安裝環(huán)境要求◆要求的站地面積：2m1.5m
◆供電要求：交流220V，8A
◆潔凈度：最好優(yōu)于10000級(jí)