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單面紫外光刻機(jī)URE-2000/17 鑫有研電子科技有限公司

簡單介紹：光刻機(jī)：(英文名：Mask ALIGENER)又名曝光機(jī), 該型號光刻機(jī)創(chuàng)新采用采用雙目雙視場顯微鏡對準(zhǔn)；球碗調(diào)平,單片機(jī)控制,觸摸開關(guān),操作方便、實(shí)用性強(qiáng)。整機(jī)具有性能可靠、操作方便等特點(diǎn)。

一．技術(shù)特征

1、采用國內(nèi)獨(dú)創(chuàng)的多點(diǎn)梯形反射鏡聚光和實(shí)現(xiàn)均勻照明，具有高的能量收集率和高均勻性照明性；

2、采用進(jìn)口直流高壓汞燈，光功率穩(wěn)定；
3、采用i線（365nm)紫外曝光光源，波長單一，光譜純凈；
4、高倍率雙目雙視場CCD顯微鏡和22英寸寬屏液晶，可同時(shí)觀察對準(zhǔn)過程，適用大視場高倍率對準(zhǔn)；

5、采用薄膜開關(guān)操作，數(shù)字設(shè)定曝光時(shí)間，倒計(jì)時(shí)數(shù)顯，曝光量可精確控制；

6、配置無油真空泵，無污染，噪音小；

7、關(guān)鍵器件采用進(jìn)口國際品牌產(chǎn)品，整機(jī)可靠性高。

二．技術(shù)參數(shù)
1、曝光面積：110mm×110mm

2、曝光波長：365nm（純凈光源）
2、分辨力：　1.5µm
3、對準(zhǔn)精度：：± 1µm
4、掩模樣片整體運(yùn)動范圍：X：6mm;Y:6mm
5、掩模尺寸：2.5寸、3寸、4寸、5寸
6、直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm)；
7、照明均勻性：±5%
9、掩模相對于樣片運(yùn)動行程： X:±5mm; Y:±5mm; θ: ±6度
10、汞燈功率：200W（直流、德國歐司朗）
11、曝光量設(shè)定：定時(shí)曝光定時(shí)（到計(jì)時(shí)方式 0.1s-9999.9s任意設(shè)定、設(shè)定精度0.1s）

12、雙目雙視場顯微鏡：物鏡三隊(duì)：4X、10X、20X，目鏡三對：10X、16X、20X

應(yīng)用領(lǐng)域
集成電路芯片、電子封裝、微電子機(jī)械系統(tǒng)、微光學(xué)元件、紅外探測器生物電泳芯片、激光二極管光刻、光柵光刻，波導(dǎo)陣列光刻、液晶顯示聲表器件、平板顯示器、大尺寸光柵、碼盤刻劃等

URE系列紫外光刻機(jī)系我公司重點(diǎn)推薦產(chǎn)品

曾出口：新加坡，韓國，朝鮮，緬甸，老撾等

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