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應(yīng)用方向：硅基芯片、GaN功率芯片、GaAs射頻芯片、有機(jī)材料器件等

變溫真空腔探針系統(tǒng)主要用于為被測芯片提供一個(gè)低溫或者高溫的變溫測量環(huán)境，以便測量分析溫度變化時(shí)芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測芯片在真空環(huán)境中。

變溫真空腔探針系統(tǒng)專為顯微鏡、成像和高空間分辨的光致發(fā)光等實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)。低膨脹系數(shù)的材料結(jié)合內(nèi)部隔振措施使樣品振動(dòng)和漂移水平低至納米量級(jí)，緊湊設(shè)計(jì)提供短工作距離，滿足高倍放大的短焦距顯微物鏡的要求，易于匹配各種顯微鏡和平移臺(tái)。

變溫真空腔探針系統(tǒng)標(biāo)配高效傳輸管線，將液氦或液氮連續(xù)輸送到恒溫器的兩級(jí)環(huán)形熱交換器進(jìn)行汽化，將固定在熱交換器上的樣品座冷卻。變溫真空腔探針系統(tǒng)恒溫器重量輕，固定方便，可在任何方向工作，緊湊型結(jié)構(gòu)便于進(jìn)行反射和投射實(shí)驗(yàn)?？啥ㄖ茦悠纷叽?、通光口大小、樣品座到窗口的距離等。

載片臺(tái)		直徑2" ，具有Guard保護(hù)功能，溫控穩(wěn)定時(shí)間小于30分鐘
載片臺(tái)溫度范圍		80k-475k
觀察窗		直徑40mm，樣品到顯微鏡物鏡最小距離8mm
真空腔真空度		< 5X10-4Torr，配隔振水平安裝底座
外置探針座	三維調(diào)節(jié)范圍	±5mm（X、Y、Z）
	分辨率	5μm，多探針座具有同時(shí)升、降（接觸/分離0.66mm）功能設(shè)計(jì)
探針接頭		三同軸Triaxial Tubular-2.0插頭連接，具有Guard保護(hù)功能，適合fA級(jí)測試，50歐姆傳輸阻抗
控溫儀		四通道，可同時(shí)對(duì)樣品臺(tái)、防輻射屏和探針臂進(jìn)行控制和監(jiān)視
顯微鏡調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)		具有多維度調(diào)節(jié)，X方向± 45mm，Y方向± 45mm，Z方向30mm，整體后仰角20 º可調(diào)，顯微鏡的前后傾角為30度
光學(xué)觀測系統(tǒng)		三目體視顯微鏡（分辨率小于5μm）、同軸燈和環(huán)形燈及電源、配接130萬像素彩色CCD、20″彩色監(jiān)視器

變溫真空腔探針臺(tái)

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