C61系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器

特點(diǎn)：量程范圍30L-300L/MIN之間可選擇 - 氣體質(zhì)量流量控制器為模擬式熱質(zhì)式流量計(jì)/流量控制器 - 具有低單價(jià) - 無(wú)需環(huán)境溫度補(bǔ)正 - 可應(yīng)用的流率范圍廣： - 大流量氣體質(zhì)量流量控制器可選用量程 30,50,100,150,200SLM

商品介紹
規(guī)格參數(shù)

氣體質(zhì)量流量控制器主要是用于自動(dòng)化控制氣體的流量大小，能夠?qū)崿F(xiàn)閉環(huán)自動(dòng)控制氣體的流量大小，這很重要，對(duì)于微小的氣體控制更是很重要，******控制小流量的氣體對(duì)于設(shè)備的運(yùn)行是至關(guān)重要的，有很多特殊的氣體使用氣體質(zhì)量流量控制器更是無(wú)可替代，它們對(duì)于氣體的流量******控制更加重視。氣體質(zhì)量流量控制器就完全能滿(mǎn)足這樣的使用要求。這是這個(gè)產(chǎn)品的優(yōu)點(diǎn)！我們的產(chǎn)品實(shí)驗(yàn)室使用更加******，設(shè)備生產(chǎn)商使用廠(chǎng)本更加合理控制，研究院使用更加輕松安裝。

概要

C61系列采用溫度變化對(duì)應(yīng)于質(zhì)量流量的原理，氣體質(zhì)量流量控制器可以對(duì)不同的氣體進(jìn)行流量測(cè)量及控制。

氣體質(zhì)量流量控制器可應(yīng)用在50SLM到300SLM的氣體流量范圍，并且不會(huì)受到溫度及壓力變化的影響。

我司生產(chǎn)的氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品系列完整，可選擇數(shù)字式，模擬式，普通，高精度，高壓力型，性能且價(jià)格具有競(jìng)爭(zhēng)力，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。

特點(diǎn)
- 氣體質(zhì)量流量控制器為模擬式熱質(zhì)式流量計(jì)/流量控制器
- 低單價(jià)
- 無(wú)需環(huán)境溫度補(bǔ)正；
- 可應(yīng)用的流率范圍廣；
- 高精度，快響應(yīng)；
- 可選用C系列控制模塊設(shè)定氣體質(zhì)量流量控制器，產(chǎn)品具有數(shù)位顯示、電源供應(yīng)、流量設(shè)定等功能；
- 國(guó)際兼容，可與進(jìn)口產(chǎn)品同時(shí)使用。
質(zhì)量流量控制器流量范圍是以SCCM、SLM為單位。例如：

5SCCM　表示　5mL/min

50SLM　表示 50L/min

C61系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

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