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    蘇州晶淼半導體石英鐘罩清洗機設備

    應用于半導體行業(yè):

    半導體清洗設備

    產(chǎn)品品牌

    JM晶淼

    規(guī)格型號:

    1500*80*1800

    發(fā)貨期限:

    60天

    庫       存:

    10

    產(chǎn)       地:

    中國-江蘇省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    400000.00
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    品牌:JM晶淼

    型號:1500*80*1800

    所屬系列:半導體清洗設備

    蘇州晶淼半導體石英鐘罩清洗設備構成及特點:
     1.本石英鐘罩清洗設備是手動的半導體工藝清洗濕臺,適用于LPE外延爐PE2061S)、PE3061、ASM E2000、AMAT CENTURA200、MOORE77**/78**五種爐子的石英鐘罩及石英件的清洗,為鐘罩清洗部分和浸泡部分共同組成

    2.整機主要由機架、操作臺面、排風、清洗槽體、電器控制系統(tǒng)組成, SUS不銹鋼制作,外包PP

    3.清洗時,石英鐘罩豎放其中,可作360度旋轉,速度為5RPM;旋轉臺直徑為500mm。

    4.并配有氮氣吹干槽.

    5.還根據(jù)客戶要求設計制作此石英鐘罩清洗設備

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    4001027270

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