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    華林科納部件清洗機

    應用于半導體行業(yè):

    半導體清洗設備-其他

    產(chǎn)品品牌

    華林科納

    庫       存:

    50

    產(chǎn)       地:

    中國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:華林科納

    型號:

    所屬系列:半導體清洗設備-其他

     主要功能:本設備主要手動搬運方式,通過對部件腐蝕、漂洗、等方式進行處理,從而達到一個用戶要求的效果。

    1.1.1 設備名稱:部件清洗機

    1.1.2 設備型號:CSE-SC-N261

    1.1.3 整機尺寸(參考):約1800mm(L)×1300mm(W)×1900mm(H);

    1.1.4 設備形式:室內(nèi)放置型;

    1.1.5 操作形式:手動

    1.2 設備組成

    該設備主要由清洗部分、抽風系統(tǒng)及電控部分組成

    設備走向:方案圖按 “左進右出”方式,另可按要求設計“右進左出”方式;

    1.3 設備描述

    l 此裝置是一個手動的處理設備。

    l 每個槽前上方對應操作按鈕,與觸摸屏(PROFACE/OMRON)互相配合

    l 主體材料:德國進口10mmPP板,優(yōu)質(zhì)不銹鋼骨架,外包3mmPP板防腐;

    l 臺面板為德國10mm PP板;

    l DIW管路及構件采用日本進口clean-PVC管材,需滿足18MW去離子水水質(zhì)要求,酸堿管路材質(zhì)為進口PFA/PVDF;

    l 采用國際標準生產(chǎn)加工,焊接組裝均在萬級凈化間內(nèi)完成

    l 排風:位于機臺后上部

    l 工作照明:上方防酸照明

    l 安全考慮:

    1. 設有EMO(急停裝置),

    2. 強電弱點隔離

    3. 所有電磁閥均高于工作槽體工作液面

    4. 電控箱正壓裝置(CDA Purge)

    5. 設備三層防漏 樓盤傾斜   漏液報警 設備整體置于防漏托盤內(nèi)

    6. 排放管路加過濾裝置

    所有槽體折彎成型,可有效避免死角顆粒

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