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    可安全鎖定上研磨盤的雙面研磨拋光機

    應用于半導體行業(yè):

    半導體加工設備-晶圓減薄拋光設備-研磨機

    產品品牌

    方達

    規(guī)格型號:

    FD-965龍門式雙面研磨機/拋光機

    發(fā)貨期限:

    15天內天

    庫       存:

    1

    產       地:

    中國-廣東省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

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    品牌:方達

    型號:FD-965龍門式雙面研磨機/拋光機

    所屬系列:半導體加工設備-晶圓減薄拋光設備-研磨機

     FD-965龍門式雙面研磨機/拋光機

     

    主要用途:

    本設備主要用于藍寶石襯底、鎢鋼刀片、陶瓷刀片等硬脆材料的精密研磨。

    工作原理:

    A:本系列研磨機為超高精密研磨設備,上、下研磨盤做相反方向轉動,工作在載體內既做公轉又自轉的游星運動。磨削阻力小,不損傷工件,而且兩面均勻磨削生產效率高。

    B:修盤機采用油壓懸浮導軌前后往復運動,配合金剛石修面刀對研磨盤進行精密修整,使研磨盤得到精密的平面度。 

    高精密研磨機特點:

    1.本系列研磨機的上、下研磨盤可進行自動修盤。

    2.采用四個電機同步運行[微軟用戶1] ,變速范圍更廣,運動精度更高,響應速度更快,能適應不同研磨材料及研磨工藝的要求,實現(xiàn)了軟啟動、軟停止,調速穩(wěn)定,沖擊小。

    3.修面機采用伺服馬達驅動,能確保油壓懸浮導軌滑動更加平穩(wěn),得到的平面修整效果更好。

    4.控制系統(tǒng)中采用DSP、web-link、彩色終端等先進技術、系統(tǒng)的響應速度更快、更精確,并具有遠程監(jiān)控,遠程維護功能。

    5、采用先進的西門子產PLC程序控制器,控制整機的動作,自動化程度高,并由與之匹配的西門子Smart 700大屏幕觸摸屏作界面,顯示當前整機狀態(tài),實現(xiàn)人機對話,操作一目了然。

    6、采用變頻調速及全齒輪傳動,使整機工作時起動平穩(wěn)、運轉穩(wěn)定,尤其在低速運轉時,克服了上、下研磨盤的竄動、爬行現(xiàn)象。

    7、采用亞德克生產的氣動執(zhí)行元件與SMC生產的氣動控制元件配套,實現(xiàn)研磨盤分輕壓、中壓、重壓、精研等四個階段的壓力無級調節(jié),為磨削工件提供更出色的研磨效率及更廣泛的磨削工藝選擇。

    8、大齒圈可以升降,且升降位置可以調節(jié)。太陽輪的高度也可以通過定期增減墊片數(shù)量進行調節(jié)。

    9、本設備可設定和存儲三十套不同的工藝參數(shù)(壓力、速度、時間、圈數(shù))供使用者選用。

    10、配有主氣缸端鎖機構,可方便、安全鎖定上研磨盤

     

     本司可提供免費試樣服務,如有需要請咨詢:

    深圳市方達研磨技術有限公司

    業(yè)務部:張向陽

    手機:13802236969

    座機:0755-26527403

    技術部:胡先生

    電話:13823704042

    郵箱:szfd_2008@163.com

    網址:http://www.szfangda.cn/ http://www.ympgj.com/  http://www.lapping.com.cn/  http://www.szfangda.com.cn

     

     


     [微軟用戶1]取消4電機同步運行

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