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    ZX-1100SH全自動半導體清洗設備

    應用于半導體行業(yè):

    半導體清洗設備-標準清洗-多片自動清洗機

    產品品牌

    展諧

    規(guī)格型號:

    訂制

    發(fā)貨期限:

    30天天

    庫       存:

    10

    產       地:

    中國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    1.00
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    品牌:展諧

    型號:訂制

    所屬系列:半導體清洗設備-標準清洗-多片自動清洗機

     1、主要用于半導體晶圓2〞、3〞、4"、6"的除蠟和清洗;
    2、清洗槽為雙層結構,外槽為SUS316,內槽為石英槽GE214;
    3、骨架材料不銹鋼,外包板和門板為德國進口PP板,觀察窗為透明PVC;
    4、外圍直接連接藥液供給設備、純水設備;
    5、外槽有超聲波和內槽有拋動系統(tǒng),輔助設備清洗;
    6、采用伺服電機、導軌、絲桿提升、橫移,運行更穩(wěn)定,準確;
    7、輸送精準≤0.3mm,溫控精度≤0.5℃;
    8、裝有排氣系統(tǒng),確保環(huán)境條件;
    9、PLC全程序控制及觸摸屏人機界面操作。

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