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    氧化鋁粉 研磨用 氧化硅液 cmp拋光用

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    全國

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    所屬系列:半導體加工設備耗材-減薄拋光耗材-研磨粉/液

     平板氧化鋁磨料(Platelet Alumina Powder)是以硬質(zhì)的高溫a- Al2O3為原料,經(jīng)過粉碎、精密粒度分級制成,硬度僅次于金剛石。其晶體形狀為六角平板狀,區(qū)別于傳統(tǒng)磨料的等級形或球形。這種形狀使磨料顆粒在研磨運動中平行于被加工工件表面,產(chǎn)生滑動的研磨效果,而非傳統(tǒng)磨料的滾動研磨,因而不容易對工件表面產(chǎn)生隨機劃痕。同時,由于研磨壓力較均勻分布在平板狀磨粒表面,顆粒破碎減少,耐磨性大幅提高,能提供高效的磨削效率和表面加工質(zhì)量,可配套提供相應助劑產(chǎn)品;

    納米二氧化硅拋光液廣泛用于納米級亞納米級超光滑表面的加工,可加工半導體材料、寶石材料、磁性材料、光學玻璃、石英晶體、金屬材料、陶瓷材料、硬質(zhì)合金等;拋光液分散均勻、穩(wěn)定,環(huán)境友好、無毒害,拋光速率高,拋光表面質(zhì)量好、無殘留、易清洗。


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