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    包郵 關(guān)注:328

    CMP拋光液

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備耗材-減薄拋光耗材-拋光液/粉

    產(chǎn)品品牌

    百特

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國-山東省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    CMP拋光液

    一．應(yīng)用領(lǐng)域

      用于單晶硅、多晶硅、藍(lán)寶石、液晶玻璃、鏡頭等拋光。

     

      二．產(chǎn)品特點

       1．采用嚴(yán)格的粒徑控制工藝，具有純度高、粒徑均勻、易清洗、無橘皮、無霧化現(xiàn)象、拋光速率高、損傷層小等優(yōu)點。

       2．可直接稀釋使用，對拋光設(shè)備無腐蝕。

     

      三．性能指標(biāo)

    指標(biāo)名稱

    型號及標(biāo)準(zhǔn)

    CMP30

    CMP50

    CMP80

    CMP100

    CMP150

    粒徑（nm）

    20-40

    40-60

    60-90

    100-130

    140-170

    外觀

    乳白

    SiO2含量(重量)

    30~40%

    分散介質(zhì)

    水

    pH值

    2-11可調(diào)

    保質(zhì)期（月）

    ≥12

     

      四．使用方法

       1．可根據(jù)拋光操作條件用去離子水進(jìn)行稀釋。

       2．稀釋后，粗拋時調(diào)節(jié)pＨ至11左右，精拋時調(diào)節(jié)pH至9.5左右。pH調(diào)節(jié)可以用10%的鹽酸、醋酸、檸檬酸、KOH或氨水在充分?jǐn)嚢柘侣尤搿?/span>

       3．循環(huán)拋光可以用原液。

     

      五．包裝及儲存

       1．采用聚乙烯塑料桶包裝，主要包裝規(guī)格有25Kg、250Kg、1000Kg。

       2．避免曝曬，貯存溫度為5-40℃，低于0℃則產(chǎn)生凍膠而報廢。

       3．避免敞口長期與空氣接觸。

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