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    包郵 關(guān)注:301

    大尺寸光罩

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備耗材-其它設(shè)備耗材-其它

    庫       存：

    10000

    產(chǎn)       地：

    中國-廣東省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    大尺寸光罩
     

    主要應(yīng)用領(lǐng)域：
    　　主要應(yīng)用于LCD、TFT、CF、Touch Panel、OLED、PDP等平板顯示行業(yè)；HDI、FPC等PCB行業(yè)。
    Applications：
    　　Mainly used in LCD、TFT、CF、Touch Panel、OLED、PDP and other flat panel display industry；HDI、FPC and other PCB industry.
     
    鉻版精度 Chrome Mask Specifications（Standard Size:430mmx430mm）
     
    精度 / 級別
    Items / Class
    最高精度
    Grade 1
    		 高精度
    Grade 2
    		 中精度
    Grade 3
    		一般精度
    Grade 4
    最小線寬/線縫
    Min.Line/Space Width
    		 1.0μm/1.0μm 5μm/5μm 10μm/10μm
    20μm/20μm
    線條精度
    CD Control
    		 ±0.15μm （QZ）
    ±0.5μm
    ±1.0μm
    ±2.0μm
    總長精度
    Total Pitch Accuracy
    ±0.5μm（QZ）
    ±1.0μm
    ±2.0μm
    ±2.0μm
    圖形位置精度
    Registration Accuracy
    ±0.5μm（QZ）
    ±1.0μm
    ±2.0μm
    ±3.0μm
    套合精度
    Overlay Accuracy
    ±0.5μm（QZ）
    ±1.0μm
    ±2.0μm
    ±3.0μm
    垂直精度
    Orthogonality
    ±0.75μrad
    ±2.0μrad
    ±3.0μrad
    ±4.0μrad
    鉻版材料 Substrate(Photomask blank phate)
     材料 Material Soda Lime Glass、Quartz
     最大尺寸Max. Size 1100mm×1100mm
     常規(guī)尺寸Normal Size
    406.4mmx457.2mm,420mmx520mm,450mmx550mm,580mmx609.6mm,
    609.6mmx711.2mm,620mmx720mm,700mmx800mm,800mmx960mm
     厚度 Thickness  
    2.3±0.2mm,3.0±0.2mm ,4.8±0.2mm ,7.8±0.2mm
    5.0±0.2mm (QZ),8.0±0.2mm (QZ)
     鉻膜 Film Type Low Reflectance Chrome
     光學(xué)密度Optical Density（λ=450nm） Between Plates3.0±0.3 In Plate±0.3
     反射率Reflectivity（λ=436nm） Between Plates10±5% In Plate±2%
     

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